[实用新型]一种掩膜板框架及掩膜板卡组件有效

专利信息
申请号: 201921947917.7 申请日: 2019-11-13
公开(公告)号: CN211403117U 公开(公告)日: 2020-09-01
发明(设计)人: 魏盘生 申请(专利权)人: 上海灏谷集成电路技术有限公司
主分类号: G03F1/64 分类号: G03F1/64
代理公司: 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 代理人: 童强
地址: 200000 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 掩膜板 框架 板卡 组件
【权利要求书】:

1.一种掩膜板框架,包括框架本体(1)和掩膜板(5),所述掩膜板(5)上设置有图形区域(6),其特征在于,所述框架本体(1)中部开设有凹槽,所述凹槽内设置有等间隔分布的若干隔条(3),所述隔条(3)将凹槽分隔成若干与掩膜板(5)对应的开口(2),所述隔条(3)侧面以及框架本体(1)内侧安装有用于承载掩膜板(5)的挡条(7)。

2.根据权利要求1所述的一种掩膜板框架,其特征在于,所述开口(2)的面积与掩膜板(5)面积相同或者大于掩膜板(5)的面积。

3.根据权利要求1所述的一种掩膜板框架,其特征在于,所述挡条(7)围成的面积小于掩膜板(5)的面积。

4.根据权利要求1所述的一种掩膜板框架,其特征在于,所述掩膜板(5)与隔条(3)垂直的一侧面上安装有扣板(9),所述框架本体(1)内侧上端开设有与扣板(9)相适应的扣槽(10)。

5.根据权利要求4所述的一种掩膜板框架,其特征在于,所述扣板(9)的厚度大于扣槽(10)的深度,且扣板(9)远离掩膜板(5)一端底部呈弧形结构。

6.根据权利要求4所述的一种掩膜板框架,其特征在于,所述扣板(9)的厚度与扣槽(10)深度相同,且扣板(9)的宽度小于扣槽(10)的宽度。

7.一种掩膜板卡组件,其特征在于,包括将权利要求1-6任一所述的掩膜板(5)压紧在开口(2)内部的压紧件(4),所述压紧件(4)包括转动设置在框架本体(1)上部的转筒(12)、自转筒(12)上部伸入转筒(12)内用于转筒(12)螺纹配合的压杆(11)以及滑动安装在转筒(12)一侧的压板(14),所述转筒(12)侧壁开设有第二滑槽(16),转筒(12)内壁开设有与第二滑槽(16)对应的第一滑槽(15),所述压板(14)一端自第二滑槽(16)延伸至转筒(12)内并与第一滑槽(15)滑动配合,所述压杆(11)底部通过支撑杆(13)与压板(14)相抵。

8.根据权利要求7所述的一种掩膜板卡组件,其特征在于,所述转筒(12)内部还设置有用于支撑压板(14)的弹簧(17)。

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