[实用新型]废气处理系统有效
申请号: | 201921948619.X | 申请日: | 2019-11-12 |
公开(公告)号: | CN211025781U | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 李建霖;曾伟庭 | 申请(专利权)人: | 汉科系统科技股份有限公司 |
主分类号: | B01D53/76 | 分类号: | B01D53/76;B01D53/18;B01D47/06;G01N1/22 |
代理公司: | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人: | 李夫玲;须一平 |
地址: | 中国台湾新竹市香*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 废气 处理 系统 | ||
一种废气处理系统,包含入口洗涤单元、连通于所述入口洗涤单元的反应单元,及连通于所述反应单元的出口洗涤单元。所述入口洗涤单元包括界定出第一内空间的入口本体,及设置于所述入口本体的入口辅助模组。所述入口辅助模组具有设置于所述入口本体且具有朝向所述第一内空间的第一通口的入口壳部、设置于所述入口壳部且具有连通于所述第一内空间的第一采样孔的第一采样管、连接于所述第一采样管的第一气压感测器,及经与第一采样孔朝向同侧的所述第一通口与所述第一内空间连通的第一氮气供应管,能不影响压力检测地对所述第一内空间供应氮气。
技术领域
本实用新型涉及一种工业制程的污染物处理设备,特别是涉及一种废气处理系统。
背景技术
参阅图1,为一现有的废气处理设备1,包含一适用于与前端制造设备(图未示)连通的入口洗涤单元11、一与所述入口洗涤单元11连通的反应单元12、一与所述反应单元12连通的出口洗涤单元13,及一用于盛接洗涤废水的水槽14。所述入口洗涤单元11包括一界定出一内空间100的本体110、一设置于所述本体110且连通于所述内空间100的氮气供应管111,及一与所述氮气供应管111相间隔地设置于所述本体110,且用于侦测所述内空间100的气压值的压力侦测模组112。所述氮气供应管111用于对所述内空间100供应氮气,因为所述氮气属于化学反应的惰性气体,除了能配合额外导入的反应气体而调整气体浓度,还能在不产生化学反应的情况下促进所述内空间100中的气体流动,并且提供气体运动的额外动能,借此降低废气中的粉尘颗粒沾附于所述本体110的内壁面的机会。
然而,为了确实侦测所述内空间100中的气体压力,所述压力侦测模组112势必需要直接采样所述内空间100中的气体,因此虽然通过所述氮气供应管111能减少粉尘颗粒沾附于所述本体110的情况,但却难以保障所述压力侦测模组112不被废气的粉尘颗粒影响。当所述压力侦测模组112沾附废气的粉尘颗粒,甚至被所述粉尘颗粒阻塞,当然会影响压力侦测的准确性,对于依靠所述内空间100中的压力值而执行判断的自动化运作而言,势必也会产生不良的影响,甚至可能影响到所述废气处理设备1运作的安全性。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种能确保压力侦测正常运作的废气处理系统。本实用新型废气处理系统,包含入口洗涤单元、连通于所述入口洗涤单元下游的反应单元,及连通于所述反应单元下游的出口洗涤单元。
所述入口洗涤单元包括界定出第一内空间的入口本体,及设置于所述入口本体的入口辅助模组。所述入口辅助模组具有设置于所述入口本体且具有朝向所述第一内空间的第一通口的入口壳部、设置于所述入口壳部且具有连通于所述第一内空间且与所述第一通口朝向同侧的第一采样孔的第一采样管、连接于所述第一采样管的第一气压感测器,及连接于所述入口壳部且经所述第一通口连通于所述第一内空间的第一氮气供应管。
本实用新型的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
较佳地,前述的废气处理系统,其中,所述出口洗涤单元包括界定出第二内空间的出口本体,及设置于所述出口本体的出口辅助模组,所述出口辅助模组具有设置于所述出口本体且具有朝向所述第二内空间的第二通口的出口壳部、设置于所述出口壳部且具有连通于所述第二内空间且与所述第二通口朝向同侧的第二采样孔的第二采样管、连接于所述第二采样管的第二气压感测器,及连接于所述出口壳部且经所述第二通口连通于所述第二内空间的第二氮气供应管。较佳地,前述的废气处理系统,其中,所述入口辅助模组的所述入口壳部围绕界定出入口腔室,所述第一氮气供应管连通于所述入口腔室。
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