[实用新型]一种便于清理的半导体镀膜设备

权利要求书

1.一种便于清理的半导体镀膜设备，包括外壳（1）、盖板（4）、第一伸缩杆（14）和加热框（21），其特征在于：所述外壳（1）的一侧固定有电机（2），其中，

所述外壳（1）的顶部一端设置有第一转轴（3），所述盖板（4）和外壳（1）之间通过第一转轴（3）相连接，所述外壳（1）内固定有第一挡块（5），所述外壳（1）内固定有第二挡块（6），所述第一挡块（5）的上侧放置有顶部回收板（7），所述第二挡块（6）上连接有连接块（8）；

所述电机（2）上连接有转杆（9），远离电机（2）的所述转杆（9）的一端固定有第一齿轮（10），所述连接块（8）上连接有连接固定杆（11），远离连接块（8）的所述连接固定杆（11）的一端设置有连接转轴（12），所述连接转轴（12）上设置有紧固螺栓组（13），所述第一伸缩杆（14）和连接固定杆（11）之间通过连接转轴（12）相连接，远离连接转轴（12）的所述第一伸缩杆（14）的一侧连接有紧固旋钮（15），所述第一伸缩杆（14）上连接有第二伸缩杆（16），所述第二伸缩杆（16）的一端固定有连接接头（17），所述连接接头（17）上连接有吸盘连接块（18），所述吸盘连接块（18）上设置有第一螺纹（19）；

所述外壳（1）的底部固定有支撑杆（20），所述加热框（21）和外壳（1）之间通过支撑杆（20）相连接，所述加热框（21）内设置有加热管（22），所述加热管（22）上放置有加热坩埚（23）。

2.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备，其特征在于：所述连接固定杆（11）包括第一固定杆（1101）、旋转连接轮（1102）、第二固定杆（1103）、第二齿轮（1104）和底部固定杆（1105），所述连接块（8）上连接有第一固定杆（1101），所述第一固定杆（1101）的一端固定有旋转连接轮（1102），所述第二固定杆（1103）和第一固定杆（1101）之间通过旋转连接轮（1102）相连接，远离旋转连接轮（1102）的所述第二固定杆（1103）的一端固定有第二齿轮（1104），所述第二齿轮（1104）的一侧固定有底部固定杆（1105）。

3.根据权利要求2所述的一种便于清理的半导体镀膜设备，其特征在于：所述第一齿轮（10）垂直于第二齿轮（1104），且转杆（9）和底部固定杆（1105）之间通过第一齿轮（10）和于第二齿轮（1104）构成齿轮转动连接，并且第一固定杆（1101）和第二固定杆（1103）之间通过旋转连接轮（1102）构成转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备，其特征在于：所述连接固定杆（11）和第一伸缩杆（14）之间通过连接转轴（12）构成旋转连接，且第一伸缩杆（14）和第二伸缩杆（16）之间通过紧固旋钮（15）构成伸缩固定结构。

5.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备，其特征在于：所述连接接头（17）和吸盘连接块（18）之间通过第一螺纹（19）构成螺纹连接，且吸盘连接块（18）位于加热坩埚（23）的上方。

6.根据权利要求1所述的一种便于清理的半导体镀膜设备，其特征在于：所述加热框（21）包括外框（2101）、底部隔热板（2102）、顶部隔热板（2103）、滑槽（2104）、滑动隔热板（2105）和滑条（2106），所述外框（2101）的内部底端固定有底部隔热板（2102）所述外框（2101）的内部顶端固定有顶部隔热板（2103），所述外框（2101）上开设有滑槽（2104），所述外框（2101）上连接有滑动隔热板（2105），所述滑动隔热板（2105）的一侧固定有滑条（2106）。