[实用新型]一种尾气处理装置和一种多晶硅生产系统

权利要求书

1.一种尾气处理装置，其特征在于，包括硅粉过滤器、气包和能够产生脉冲气流的反吹角阀，其中：

所述气包的入口连接气源，所述气源能够向所述气包内输送高压氢气；

所述气包的出口通过反吹管线与所述硅粉过滤器的上部连接，所述反吹管线中设置有所述反吹角阀，用于对所述硅粉过滤出器中的滤芯进行反吹。

2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述气源通过压缩机向所述气包内输送高压氢气。

3.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述反吹角阀为可在250秒内完成“关-开-关”动作的反吹角阀。

4.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理装置中：

每台所述硅粉过滤器中设置有多个所述滤芯；

每台所述硅粉过滤器上设置有多个所述反吹管线，每个所述反吹管线中设置有一个所述反吹角阀；

每个所述反吹管线连接一个所述滤芯，用于对其连接的所述滤芯进行反吹。

5.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于，所述尾气处理装置中：

每台所述硅粉过滤器中设置有多个滤芯组，每个所述滤芯组中包括多个所述滤芯；

每台所述硅粉过滤器上设置有多个所述反吹管线，每个所述反吹管线中设置有一个所述反吹角阀；

每个所述反吹管线连接一个所述滤芯组。

6.根据权利要求5所述的尾气处理装置，其特征在于，每台所述硅粉过滤器上设置有10个所述反吹管线和两个所述气包，每5个所述反吹管线连接一个所述气包。

7.根据权利要求1至6任一项所述的尾气处理装置，其特征在于，还包括用于控制所述反吹角阀周期性循环动作的控制装置。

8.根据权利要求1至6任一项所述的尾气处理装置，其特征在于，所述硅粉过滤器的底部设置有用于连接硅粉排放管线的硅粉排放口；

所述硅粉过滤器的顶部设置有用于连接氢气出口管线的氢气出口；

所述滤芯位于所述硅粉排放口和所述氢气出口之间；

所述硅粉过滤器上设置有用于连接尾气输送管线的尾气入口，所述尾气输送管线用于向所述硅粉过滤器内输送带有硅粉的尾气，所述尾气入口位于所述硅粉排放口和所述滤芯之间；

所述反吹管线设置在所述氢气出口与所述滤芯之间。

9.根据权利要求8所述的尾气处理装置，其特征在于，所述硅粉过滤器的底部还设置有用于连接氮气置换管线的氮气置换口。

10.一种多晶硅生产系统，其特征在于，所述多晶硅生产系统中设置有如权利要求1至9任一项所述的尾气处理装置，所述多晶硅生产系统中设置有6个所述尾气处理装置。