[实用新型]一种PECVD尾气处理装置

权利要求书

1.一种PECVD尾气处理装置，包括收集构件(1)，其特征在于：所述收集构件(1)的右侧安装有进气管(2)，所述收集构件(1)的内部安装有除尘构件(3)，所述除尘构件(3)的左侧上下两端均安装有撑杆(4)，所述撑杆(4)的外壁套接有插管(5)，所述插管(5)之间安装有过滤装置(6)，所述过滤装置(6)的内部左侧安装有第二螺纹管(7)，所述第二螺纹管(7)的内部插接有排气管(8)；

所述除尘构件(3)包括支板(301)、插管(302)、第一螺纹管(303)、过滤袋(304)、支块(305)、横杆(306)和支架(307)，所述支板(301)之间固接有插管(302)，所述插管(302)的外壁右侧螺纹连接有第一螺纹管(303)，所述第一螺纹管(303)的右侧固接有过滤袋(304)，第一螺纹管(303)的内壁固接有支块(305)，所述支块(305)的右侧固接有横杆(306)，所述横杆(306)的外壁固接有多个支架(307)。

2.根据权利要求1所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述过滤袋(304)的材质为尼龙布制成。

3.根据权利要求1所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述支架(307)为多个等距设置。

4.根据权利要求1所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述收集构件(1)包括箱体(101)、竖管(102)和收集箱(103)，所述箱体(101)的底端插接有竖管(102)，所述竖管(102)的底端插接有收集箱(103)。

5.根据权利要求1所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述过滤装置(6)包括外壳(601)、盒体(602)、环板(603)、过滤棉(604)、活性炭(605)，所述外壳(601)的内部设有两个盒体(602)，所述盒体(602)的内部分别放置有过滤棉(604)和活性炭(605)，所述外壳(601)的内壁右侧固接有环板(603)，所述外壳(601)与插管(5)固定相连。

6.根据权利要求5所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述盒体(602)与外壳(601)为间隙配合。

7.根据权利要求5所述的一种PECVD尾气处理装置，其特征在于：所述过滤棉(604)的材质为聚酯纤维。