[实用新型]一种金属焊球的制备装置

权利要求书

1.一种金属焊球的制备装置，其特征在于，所述金属焊球的制备装置包括但不限于喷雾腔体、液滴发生单元、充电单元、监测单元、温度控制单元、压力控制单元与收集单元；

所述液滴发生单元包括但不限于熔融液容器、设置于熔融液容器底部的至少一个射流口以及使熔融液振动的振动模块；液滴发生单元通过所述射流口与喷雾腔体连通；

所述充电单元用于为熔融液充电；

所述监测单元设置于喷雾腔体的外部，用于实时监测喷雾腔体内液滴成型情况；

所述温度控制单元用于控制熔融液容器的温度；

所述压力控制单元分别独立地控制喷雾腔体与熔融液容器的压力；

所述收集单元设置于喷雾腔体的底部，用于收集金属焊球。

2.根据权利要求1所述的金属焊球的制备装置，其特征在于，所述熔融液容器包括但不限于外壳与不锈钢衬里。

3.根据权利要求2所述的金属焊球的制备装置，其特征在于，所述熔融液容器底面相对于熔融液容器侧壁法线方向的夹角为0-8°。

4.根据权利要求1所述的金属焊球的制备装置，其特征在于，所述熔融液容器底部的射流口数量为1-200个。

5.根据权利要求1所述的金属焊球的制备装置，其特征在于，所述射流口包括但不限于红宝石射流口和/或蓝宝石射流口。

6.根据权利要求1所述的金属焊球的制备装置，其特征在于，所述振动模块包括但不限于机械振动装置和/或气体脉冲发生器。

7.根据权利要求6所述的金属焊球的制备装置，其特征在于，所述机械振动装置包括但不限于信号发生器、压电换能器以及与压电换能器连接的振动杆；所述振动杆设置于熔融液容器中使熔融液振动。

8.根据权利要求6所述的金属焊球的制备装置，其特征在于，所述气体脉冲发生器设置于射流口，用于使熔融液分散成液滴。

9.根据权利要求1所述的金属焊球的制备装置，其特征在于，所述充电单元包括但不限于范德格拉夫起电机和/或充电板。

10.根据权利要求9所述的金属焊球的制备装置，其特征在于，所述范德格拉夫起电机设置于熔融液容器中，用于为熔融液容器中的熔融液充电。

11.根据权利要求9所述的金属焊球的制备装置，其特征在于，所述充电板设置于熔融液容器的下方，开设有与射流口配套的通孔；充电板由外部电源供电，充电板厚度与射流口直径的比例为(25-100):1，充电板上配套通孔的直径与射流孔直径的比例为(10-25):1。

12.根据权利要求7所述的金属焊球的制备装置，其特征在于，所述监测单元包括但不限于CCD摄像机与闪光灯，闪光灯的闪光频率与压电换能器频率同步。

13.根据权利要求1所述的金属焊球的制备装置，其特征在于，所述温度控制单元包括但不限于电加热模块、温度测量模块与温度控制器；

所述电加热模块包括但不限于电热丝和/或伴热带；

所述温度测量模块包括但不限于至少两个温度传感器，至少一个温度传感器设置于熔融液容器的熔融液中，至少一个温度传感器设置于射流口处。

14.根据权利要求1所述的金属焊球的制备装置，其特征在于，所述压力控制单元包括但不限于设置于熔融液容器的第一压力传感器、设置于喷雾腔体的第二压力传感器、三通阀门、真空泵、第一压力源与第二压力源；

所述三通阀门的分别独立地与熔融液容器、喷雾腔体以及第一压力源连接；所述三通阀门与喷雾腔体的连接管道上连接有真空泵与第二压力源。