[实用新型]一种板式PECVD机台的双面镀膜结构

权利要求书

1.一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，包括外框(1)，其特征在于：所述外框(1)的内部上下两端均安装有石英管(2)，所述外框(1)的内部安装有镀膜机构(3)，所述外框(1)外壁上下两端均安装有下夹板(4)，所述下夹板(4)的外侧转动连接有上夹板(5)，所述下夹板(4)和上夹板(5)的内部插接有磁铁(6)，所述外框(1)的左侧安装有调节构件(7)，所述调节构件(7)的左侧安装有转盘(8)，所述外框(1)的内部设置有等离子(9)；

所述调节构件(7)包括支架(701)、定块(702)、螺杆(703)、螺纹管(704)和撑杆(705)，所述支架(701)之间固接有定块(702)，所述定块(702)的内部转动连接有螺杆(703)，所述螺杆(703)的外壁螺纹连接有螺纹管(704)，所述螺纹管(704)的外壁上下两端均转动连接有撑杆(705)，所述螺杆(703)与转盘(8)固定相连。

2.根据权利要求1所述的一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，其特征在于：所述撑杆(705)为对称设置。

3.根据权利要求1所述的一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，其特征在于：所述外框(1)包括第一外壳(101)、第二外壳(102)、插板(103)和槽板(104)，所述第一外壳(101)的底端扣合有第二外壳(102)，所述第一外壳(101)的左侧固接有槽板(104)，所述第二外壳(102)的左侧固接有插板(103)，所述插板(103)与槽板(104)插接相连。

4.根据权利要求3所述的一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，其特征在于：所述第一外壳(101)和第二外壳(102)的形状为U型板。

5.根据权利要求3所述的一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，其特征在于：所述第一外壳(101)的外壁内部开设有氨气进气孔。

6.根据权利要求1所述的一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，其特征在于：所述镀膜机构(3)包括支杆(301)、扣板(302)、石墨框(303)和硅片(304)，所述支杆(301)的顶端固接有扣板(302)，所述扣板(302)的内壁插接有石墨框(303)，所述石墨框(303)的外壁固接有硅片(304)。

7.根据权利要求6所述的一种板式PECVD机台的双面镀膜结构，其特征在于：所述扣板(302)之间通过螺栓进行螺纹相连。