[实用新型]体声波谐振器

说明书

本实用新型实施例公开了一种体声波谐振器。该体声波谐振器包括：上电极、压电层和下电极，压电层设置在上电极和下电极之间；压电层在下电极的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构。通过在压电层的侧面设置多个锯齿结构，使压电层的侧面形成不规则边缘，以使压电层通电后产生的横向体声波传播到压电层与空气接触的表面时，能够发生杂乱无章的反射或漫反射，防止横向驻波的形成。本实施例的技术方案，解决了现有的体声波谐振器除了产生纵向体声波外，还会产生其他形式的驻波，增加体声波谐振器的噪声，对体声波谐振器的性能产生不利影响的问题，阻止了其他形式的驻波的产生，减少了体声波谐振器的噪声，提升了体声波谐振器的性能。

技术领域

本实用新型实施例涉及谐振器技术领域，尤其涉及一种体声波谐振器。

背景技术

理想体声波谐振器是由上电极、压电层和下电极组成的声学堆，该谐振器具有尺寸小、性能好、适用于集成电路等优点。

体声波谐振器通常激发沿压电层厚度方向的传播的纵向体声波，该纵向体声波是影响体声波谐振器品质的主要因素。然而，现有的体声波谐振器除了产生期望的纵向体声波外，往往还会在器件中产生其他形式的驻波，增加了体声波谐振器的噪声，对体声波谐振器的性能产生了不利影响。

实用新型内容

本实用新型提供一种体声波谐振器，以阻止其他形式的驻波的产生，减少体声波谐振器的噪声，提升体声波谐振器的性能。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种体声波谐振器，该体声波谐振器包括：

上电极、压电层和下电极，所述压电层设置在所述上电极和所述下电极之间；

所述压电层在所述下电极的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构。

可选地，所述上电极和所述下电极在垂直于所述体声波谐振器的厚度方向的平面上的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构。

可选地，相邻所述锯齿结构的中心间距大于或等于2微米。

可选地，所述压电层在所述下电极的垂直投影的所有边界均包括多个锯齿结构。

可选地，多个所述锯齿结构在所述边界上依次首尾相连。

可选地，所述锯齿结构的形状包括三角形或梯形。

可选地，所述体声波谐振器在垂直于其厚度方向的平面上的垂直投影的形状包括多边形。

可选地，所述上电极和所述下电极的材质为金、钼、铝、铬和镍中的任一种。

可选地，所述压电层的材质为锆钛酸铅压电陶瓷、氧化锌和氮化铝中的任一种。

本实用新型实施例提供了一种体声波谐振器，该体声波谐振器包括：上电极、压电层和下电极，压电层设置在上电极和下电极之间；压电层在下电极的垂直投影的至少部分边界包括多个锯齿结构。通过在压电层的侧面设置多个锯齿结构，使压电层的侧面形成不规则边缘，以使压电层通电后产生的横向体声波传播到压电层与空气接触的表面时，能够发生杂乱无章的反射或漫反射，防止横向驻波的形成，解决了现有的体声波谐振器除了产生纵向体声波外，还会产生其他形式的驻波，增加体声波谐振器的噪声，对体声波谐振器的性能产生不利影响的问题，阻止了其他形式的驻波的产生，减少了体声波谐振器的噪声，提升了体声波谐振器的性能。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种体声波谐振器的平面结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种体声波谐振器的立体结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的一种体声波谐振器的垂直投影示意图；

图4是现有技术中的一种体声波谐振器的平面结构示意图；