[实用新型]一种适用于大尺寸单晶拉制的内镶式埚托

说明书

本实用新型提供一种适用于大尺寸单晶拉制的内镶式埚托,其特征在于,包括埚托本体,所述埚托本体上方连接石英坩埚,所述埚托本体下方连接托杆,所述埚托本体下部设置有凹槽,所述托杆的上端插入所述凹槽内,所述托杆带动所述埚托本体转动,通过内嵌式的连接方式有效的降低了埚托的厚度，在厚度减薄的基础上，有效的增加了埚托在转动情况下的稳定性，进而增加了坩埚的下限位距离，进而可以增加投料量，来提高大尺寸单晶的产出。

技术领域

本实用新型属于太阳能直拉硅单晶制造、直拉半导体硅单晶技术领域，尤其是涉及一种适用于大尺寸单晶拉制的内镶式埚托。

背景技术

单晶拉制主要使用单晶炉完成的，单晶炉主要包括炉腔、石英坩埚、埚托、托杆以及驱动装置，其中，石英坩埚设在炉腔内并用于加热多晶硅材料，埚托设于炉腔内并用于支撑石英坩埚，托杆的顶端设在炉腔内并与埚托相连，托杆的底部贯穿炉腔的底部并与炉腔底部的驱动装置相连，驱动装置通过托杆实现在炉腔之外驱动石英坩埚旋转和上下移动。

目前单晶拉制的单晶尺寸越来越大，需要增大投料量来满足大尺寸单晶拉制的需求，由于坩埚下限位的限制，现有的大轴托杆及埚托不满足大尺寸单晶拉制，由于单晶尺寸的增加，原有的投料量不能满足大尺寸单晶的拉制长度，需要增加初始投料量来保证大尺寸单晶的产出效率，现在的埚托虽然具有稳定性，但是由于自身的厚度过大，坩埚在下限位时埚托及大轴托杆的厚度导致投料量不能增加，产出受到投料量的影响。

实用新型内容

本实用新型针对上述现有技术存在的问题做出改进，即本实用新型提供一种适用于大尺寸单晶拉制的内镶式埚托,采用与大轴托杆内嵌式的连接方式，在厚度减薄的基础上，有效的增加了埚托在转动情况下的稳定性，并且有效的增加了坩埚的下限位距离，可以增加投料量，来提高大尺寸单晶的产出。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种适用于大尺寸单晶拉制的内镶式埚托，包括埚托本体,所述埚托本体上方连接石英坩埚,所述埚托本体下方连接托杆,所述埚托本体下部设置有凹槽,所述托杆的上端插入所述凹槽内,所述托杆带动所述埚托本体转动。

优选的，所述凹槽形状为三角形或矩形或多边形。

优选的，所述凹槽的深度为20mm。

优选的，所述埚托本体的厚度为100mm。

优选的，所述埚托本体材质为碳/碳复合材料等静压石墨材料。

本实用新型的优点和积极效果是，减小埚托的厚度，并将埚托与大轴托杆连接方式设计为内镶式的，在厚度减薄的基础上，有效的增加了埚托在转动情况下的稳定性，并且有效的增加了坩埚的下限位距离，可以增加投料量，来提高大尺寸单晶的产出。

附图说明

图1是本实用新型实施例的一种适用于大尺寸单晶拉制的内镶式埚托的结构示意图；

图中：

1、石英坩埚 2、埚托本体 3、凹槽

4、托杆

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。