[实用新型]应用于LCOS系统位相调制工作台的低速运动控制系统

权利要求书

1.一种应用于LCOS系统位相调制工作台的低速运动控制系统，其特征在于，所述低速运动控制系统包括工作台、运动控制器、电机驱动电路和电机；

所述运动控制器，用于接收所述工作台的二维物理坐标信号且向LCOS系统位相调制器件发送曝光的开关指令；

所述电机驱动电路，用于发出的驱动电压控制信号；

所述电机，用于受控于所述电机驱动电路以驱动工作台；

所述工作台包括扫描轴及与位置反馈模块，所述位置反馈模块用于实时检测所述扫描轴的移动位置。

2.根据权利要求1所述的应用于LCOS系统位相调制工作台的低速运动控制系统，其特征在于，所述低速运动控制系统还包括检测装置，用于实时监测所述电机的运动状态信息，并将所述电机的运动位置及速度发送给运动控制器。

3.根据权利要求1所述的应用于LCOS系统位相调制工作台的低速运动控制系统，其特征在于，所述工作台载带光偏振敏感材料在二维平面运动，以进一步实现偏振光场拼接或者不同偏振光场之间的互联。