[实用新型]一种用于大尺寸硅片的插片装置

权利要求书

1.一种用于大尺寸硅片的插片装置，其包括第一传输装置，其特征在于：所述插片装置还包括

旋转吸盘，其可吸附所述第一传输装置上的硅片并带动硅片旋转；

片篮，其上设置有可供旋转吸盘上的硅片竖向插入的往上开口的竖向插槽。

2.根据权利要求1所述的用于大尺寸硅片的插片装置，其特征在于：还包括装有硅片的置放装置，所述置放装置内的硅片可逐片移动至第一传输装置上，所述置放装置与旋转吸盘分别设置于所述第一传输装置的两端，所述第一传输装置带动硅片朝向旋转吸盘的方向移动，所述片篮置于所述旋转吸盘下方。

3.根据权利要求2所述的用于大尺寸硅片的插片装置，其特征在于：进一步包括一置于所述旋转吸盘下方的第二传输装置，所述片篮置于所述第二传输装置上，当一硅片插入片篮的其中一插槽后，第二传输装置带动片篮移动，以使得相邻空插槽移动到对应位置以供下一硅片竖向插入。

4.根据权利要求1或2或3所述的用于大尺寸硅片的插片装置，其特征在于：所述旋转吸盘包括一可绕Z轴旋转的转轴、一个或多个沿着所述转轴的周向间隔设置的吸盘装置，所述吸盘装置包括一端连接于所述转轴周向上的连接件、设置于所述连接件上的一个或多个真空吸盘，且每一个所述吸盘装置对应连接一个真空发生器。

5.根据权利要求4所述的用于大尺寸硅片的插片装置，其特征在于：所述吸盘设置于所述连接件上侧，所述旋转吸盘逆时针旋转；或，所述吸盘设置于所述连接件下侧，所述旋转吸盘顺时针旋转。

6.根据权利要求5所述的用于大尺寸硅片的插片装置，其特征在于：所述第一传输装置朝向转轴的一端与转轴之间的间距不小于所述连接件的长度。

7.根据权利要求5或6所述的用于大尺寸硅片的插片装置，其特征在于：每一吸盘装置上的所有真空吸盘分别通过管道与一真空发生器连通；或，每一吸盘装置的连接件设置有内部空腔，且该内部空腔通过管道与一真空发生器连通，每一连接件上的吸盘均与该连接件的内部空腔连通。

8.根据权利要求1或2或3或5或6所述的用于大尺寸硅片的插片装置，其特征在于：所述第一传输装置水平设置，所述片篮也水平设置。

9.根据权利要求1或2或3或5或6所述的用于大尺寸硅片的插片装置，其特征在于：所述旋转吸盘还可相对第一传输装置移动，从而所述旋转吸盘可相对靠近或远离所述第一传输装置。

10.根据权利要求8所述的用于大尺寸硅片的插片装置，其特征在于：所述旋转吸盘还可相对第一传输装置移动，从而所述旋转吸盘可相对靠近或远离所述第一传输装置。

11.一种用于大尺寸硅片插片工序的插片装置，其特征在于：包括权利要求1至10中任一项所述的插片装置。