[实用新型]喷嘴吹扫装置及晶圆承载装置

权利要求书

1.一种喷嘴吹扫装置，其特征在于，包括：

容纳槽，用于放置显影喷嘴装置；

吹扫装置，包括气源、至少一出气口及连接所述气源与所述出气口的输气管路，所述出气口设置在所述容纳槽中，吹扫气体自所述气源沿所述输气管路传输，并自所述出气口吹出，所述吹扫气体能够作用于所述显影喷嘴装置的外表面，以将所述显影喷嘴装置外表面或喷嘴处的液滴去除。

2.根据权利要求1所述的喷嘴吹扫装置，其特征在于，所述出气口设置在所述容纳槽的侧面，所述吹扫气体沿水平方向或者沿与水平方向呈一锐角的方向吹出。

3.根据权利要求2所述的喷嘴吹扫装置，其特征在于，部分所述输气管路置于所述容纳槽的侧壁内。

4.根据权利要求2所述的喷嘴吹扫装置，其特征在于，所述吹扫装置包括多个出气口，在所述容纳槽底部至顶部的方向上，所述出气口至少呈一排设置，每一排至少包括一个出气口。

5.根据权利要求4所述的喷嘴吹扫装置，其特征在于，当所述出气口呈多排设置时，至少一排所述出气口对应所述显影喷嘴装置的拐角设置，至少一排所述出气口对应所述显影喷嘴装置的喷嘴尖端设置。

6.根据权利要求4所述的喷嘴吹扫装置，其特征在于，所述容纳槽具有一中心线，当所述出气口呈多排设置时，沿所述容纳槽底部至顶部的方向上，所述出气口与所述容纳槽中心线的距离逐渐减小。

7.根据权利要求2所述的喷嘴吹扫装置，其特征在于，所述出气口的分布设置为：自一个所述出气口吹出的吹扫气体覆盖区域对应所述显影喷嘴装置的一个或多个喷嘴区域。

8.根据权利要求7所述的喷嘴吹扫装置，其特征在于，所述喷嘴区域包括显影喷嘴装置的喷嘴尖端及拐角。

9.根据权利要求1所述的喷嘴吹扫装置，其特征在于，所述喷嘴吹扫装置还包括一排液管，所述排液管与所述容纳槽连通。

10.一种晶圆承载装置，其特征在于，包括：

载台，用于承载晶圆；

外层壳体，具有容纳腔，所述容纳腔具有一开口，所述载台设置在所述容纳腔内，且所述外层壳体能够相对于所述载台升降；

如权利要求1～9任意一项所述的喷嘴吹扫装置，所述喷嘴吹扫装置的容纳槽设置在所述外层壳体的外顶面或外侧面，所述外层壳体升降能够带动所述容纳槽升降。