[实用新型]一种用于植球治具的干燥装置有效

专利信息
申请号: 201921989741.1 申请日: 2019-11-18
公开(公告)号: CN210892453U 公开(公告)日: 2020-06-30
发明(设计)人: 杨杰;杨帆;吴继春 申请(专利权)人: 紫光宏茂微电子(上海)有限公司
主分类号: F26B9/06 分类号: F26B9/06;F26B21/06;F26B25/00
代理公司: 上海市嘉华律师事务所 31285 代理人: 黄琮
地址: 201799 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 植球治具 干燥 装置
【权利要求书】:

1.一种用于植球治具的干燥装置,其特征在于,包括:座体、干燥气源、控制机构和多个气体接头;

植球治具包括:第一底板和多根定位针,所述多根定位针竖直设置在所述第一底板上;

所述座体包括第二底板、前侧板、后侧板、左侧板和右侧板;

所述前侧板和所述后侧板相互平行且相对设置,所述左侧板和所述右侧板相互平行且相对设置,所述前侧板、所述后侧板、所述左侧板和所述右侧板的底端分别与所述第二底板垂直且固定连接,以围成一矩形凹槽,所述矩形凹槽的深度大于所述定位针的长度,所述座体用于放置所述植球治具,且使所述定位针伸入到所述矩形凹槽内;

所述前侧板设有多个第一通孔,所述后侧板设有多个第二通孔,所述第一通孔和所述第二通孔均与所述矩形凹槽连通;

所述多个气体接头分别设置在所述多个第二通孔处,所述多个气体接头通过气体管路与所述干燥气源连接,所述干燥气源用于向所述矩形凹槽内输送干燥气体;

所述控制机构设置在所述气体管路上,所述控制机构用于控制所述气体管路的通断。

2.根据权利要求1所述的用于植球治具的干燥装置,其特征在于,所述控制机构包括:电磁阀和控制开关;

所述电磁阀设置在所述气体管路上,所述电磁阀用于控制所述气体管路的通断;

所述控制开关与所述电磁阀电性连接,所述控制开关用于控制所述电磁阀的启闭。

3.根据权利要求2所述的用于植球治具的干燥装置,其特征在于,所述控制机构还包括:延时继电器;

所述延时继电器设置在所述电磁阀与所述控制开关之间,分别与所述电磁阀和所述控制开关电性连接。

4.根据权利要求3所述的用于植球治具的干燥装置,其特征在于,所述控制机构还包括:蜂鸣报警器;

所述蜂鸣报警器与所述延时继电器电性连接。

5.根据权利要求1所述的用于植球治具的干燥装置,其特征在于,还包括:多个消音器;

所述多个消音器分别设置在所述多个第一通孔处。

6.根据权利要求1所述的用于植球治具的干燥装置,其特征在于,所述后侧板设有内腔,所述第二通孔设置在所述内腔的外侧壁上,所述内腔的内侧壁上设有长条孔,所述长条孔用于使所述内腔与所述矩形凹槽连通。

7.根据权利要求6所述的用于植球治具的干燥装置,其特征在于,所述长条孔包括:多个第一长条孔和多个第二长条孔;

所述多个第一长条孔间隔设置在所述内侧壁的上部,所述多个第二长条孔间隔设置在所述内侧壁的下部。

8.根据权利要求1所述的用于植球治具的干燥装置,其特征在于,所述前侧板、所述后侧板、所述左侧板和所述右侧板的内侧向下凹陷,形成限位槽,所述限位槽与所述第一底板适配,用于供所述第一底板嵌入。

9.根据权利要求8所述的用于植球治具的干燥装置,其特征在于,所述左侧板和所述右侧板设有矩形缺口,所述矩形缺口用于使所述第一底板凸出于所述限位槽。

10.根据权利要求1至9中任意一项所述的用于植球治具的干燥装置,其特征在于,所述植球治具设有第一磁铁,所述座体上设有与所述第一磁铁对应的第二磁铁。

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