[实用新型]一种真空镀膜机用夹持装置

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机用夹持装置，包括底座，所述底座上端设有固定板，且底座上设有固定座，并且底座上还设有转动块固定杆，所述固定座上开设有开口，且固定座的开口内设有螺纹杆固定件，所述螺纹杆固定件外圈套设有螺纹杆，且螺纹杆外部套设有固定螺帽，所述转动块固定杆上设有凹口，且转动块固定杆凹口内设置有转动块，所述转动块上连接有压框，且压框上开设有固定通孔，并且压框另一端设有两个定位块，所述固定通孔内壁上开设有半圆形凹槽，且固定通孔凹槽内设有压环，所述定位块上开设有开口。该真空镀膜机用夹持装置操作简单，可以有效的将基板的边缘固定住，防止基板在镀膜的时候出现晃动的情况，提高基板镀膜的效果。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机用夹持装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。

现有基板进行镀膜时需要用到真空镀膜机，进行镀膜时需要将基板固定在真空镀膜机上以方便作业，此时一般采用装载夹具将基板固定在真空镀膜机的基座上，一般的转载夹具在使用的时候不能有效的将基板固定住，容易使基板边缘产生晃动的情况，这样可能影响到基板镀膜的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机用夹持装置，以解决背景技术中提出的转载夹具在使用的时候不能有效的将基板固定住，容易使基板边缘产生晃动的情况，这样可能影响到基板镀膜的质量的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜机用夹持装置，包括底座，所述底座上端设有固定板，且底座上设有固定座，并且底座上还设有转动块固定杆，所述固定座上开设有开口，且固定座的开口内设有螺纹杆固定件，所述螺纹杆固定件外圈套设有螺纹杆，且螺纹杆外部套设有固定螺帽，所述转动块固定杆上设有凹口，且转动块固定杆凹口内设置有转动块，所述转动块上连接有压框，且压框上开设有固定通孔，并且压框另一端设有两个定位块，所述固定通孔内壁上开设有半圆形凹槽，且固定通孔凹槽内设有压环，所述定位块上开设有开口，且定位块套设在螺纹杆上。

优选的，所述固定螺帽的外部直径大于定位块上开口内部直径。

优选的，所述定位块在压框上的位置与螺纹杆的位置相对应。

优选的，所述转动块设置有两个，且转动块关于压框的中心线左右对称分布，并且转动块两侧设有圆形凸起，转动块两侧凸起卡在转动块固定杆的凹口内。

优选的，所述固定通孔内部形状与固定板的外部形状相匹配。

优选的，所述压环采用橡胶材质，且压环形成的外圈直径小于固定板的外部直径。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该真空镀膜机用夹持装置操作简单，可以有效的将基板的边缘固定住，防止基板在镀膜的时候出现晃动的情况，提高基板镀膜的效果。该装置的固定螺帽可以将螺纹杆外圈的定位块压住，以此来将压框固定住，防止压框从固定板上脱离，同时转动块可以在转动块固定杆的凹口内进行转动，以此来使转动块上的压框进行转动，方便将压框从固定板上打开。

附图说明

图1为本实用新型一种真空镀膜机用夹持装置结构示意图；

图2为本实用新型一种真空镀膜机用夹持装置压框俯视图；

图3为本实用新型一种真空镀膜机用夹持装置图1中A-A处剖视图；

图4为本实用新型一种真空镀膜机用夹持装置固定座侧视图。

图中：1、固定螺帽，2、螺纹杆，3、定位块，4、压框，5、固定板，6、转动块，7、固定座，8、底座，9、转动块固定杆，10、固定通孔，11、压环，12、螺纹杆固定件。