[实用新型]一种高频振动清洗机

说明书

本实用新型公开了一种高频振动清洗机，涉及硅片清洗技术领域，其技术方案要点是包括机体，机体内设有超声槽，超声槽的开口处搭接有用于放置硅片的支架，机体的一侧设有与超声槽连通的排水口，超声槽内可拆卸设有过滤板，过滤板位于支架与超声槽底部之间，过滤板四周的周缘全部抵接于超声槽的内周侧壁使超声槽被分为上下两个腔室。过滤板上设有用于取放过滤板的手握结构；超声槽相对的两内侧壁均设有用于支撑过滤板的支撑杆。还包括用于固定过滤板的锁定结构。本实用新型通过过滤板过滤水中的粉尘等杂质，降低了工作人员清理超声槽的次数，只需要更换过滤板即可，操作简单快捷。

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，更具体地说，它涉及一种高频振动清洗机。

背景技术

随着微电子技术的进步，芯片的集成度不断提高，元器件的尺度不断缩小，相应地对硅片洁净度的要求也越来越高。因为硅片表面的残留污染物和杂质会导致电路或器件结构失效，所以在制造过程中需要对硅片进行清洗以去除硅片表面残留的杂质。

现有授权公告号为CN202427679U的中国专利公开了超声硅片清洗机，包括超声槽，超声槽的一侧设有排水阀门，超声槽的槽口处搭接有用于放置硅片的支架，超声槽的底部设有超声波振子。超声槽上还设有循环水管路，循环水管路上通过过滤装置和抽水泵连有喷头。上述公开专利中的超声硅片清洗机在排水的过程中，当超声槽内的水逐渐清澈时，开启抽水泵，使清水经过过滤装置后通过喷头喷出，喷头由人工操作控制水流方向和位置，可将清水重新打入超声槽内，达到循环清洗的作用。

但是，上述公开专利中的超声硅片清洗机，过滤装置是设置在超声槽的外侧，在清洗硅片时，硅片上的粉尘等杂质混入超声槽内的水中，超声槽内的水在流出超声槽时才能经由过滤装置过滤，而超声槽内仍然会有部分粉尘等杂质沉积在超声槽底部。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种高频振动清洗机，其通过过滤板过滤水中的粉尘等杂质，降低了工作人员清理超声槽的次数，只需要更换过滤板即可，操作简单快捷。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种高频振动清洗机，包括机体，所述机体内设有超声槽，超声槽的开口处搭接有用于放置硅片的支架，机体的一侧设有与超声槽连通的排水口，所述超声槽内可拆卸设有过滤板，所述过滤板位于支架与超声槽底部之间，所述过滤板四周的周缘全部抵接于超声槽的内周侧壁使超声槽被分为上下两个腔室；

所述过滤板上设有用于取放过滤板的手握结构；

所述超声槽相对的两内侧壁均设有用于支撑过滤板的支撑杆；

还包括用于固定过滤板的锁定结构。

通过采用上述技术方案，利用过滤板过滤水中的粉尘等杂质，降低粉尘等杂质沉积在超声槽底部的可能性，从而降低工作人员清理超声槽的次数。另外，现有技术中的超声硅片清洗机，在清理超声槽底部的粉尘时，需要将超声槽内的水全部排出后才能清理杂质。与现有技术相比，本方案不需要将超声槽内的水全部排出，只需要取出支架，解除锁定结构对过滤板的固定即可更换过滤板，操作简单快捷。

进一步地，所述支撑杆朝向超声槽开口的一侧开有卡槽，过滤板背离超声槽开口的侧面设有卡入卡槽的卡条。

通过采用上述技术方案，卡条卡入卡槽内可固定过滤板，降低高频振动清洗机在工作时过滤板因振动而发生位移的可能性，使过滤板的周缘脱离与超声槽内侧壁的抵接，从而影响过滤板的过滤效果。

进一步地，所述卡条为弹性橡胶条。

通过采用上述技术方案，弹性橡胶条卡入卡槽内在起到固定过滤板的作用的同时，弹性橡胶条的弹性可减缓过滤板与支撑杆之间的撞击，降低损坏过滤板的可能性。

进一步地，所述锁定结构包括螺栓，所述过滤板通过螺栓与支撑杆可拆卸连接。