[实用新型]红外焦平面阵列探测器参数性能自动化测试设备

说明书

本实用新型提供了一种红外焦平面阵列探测器参数性能自动化测试设备，包括：主机主体，包括安装柜和固定台板；料盘自动上下料装置；黑体组件，包括多种类型的黑体，多种类型的黑体可选择地安装在黑体组件中；测试工位系统，包括多种型号的测试工位，多种型号的测试工位可选择地设置在测试工位系统中；机械手行走装置使红外焦平面阵列探测器在料盘自动上下料装置和测试工位系统之间移动。由于本实用新型中的测试工位系统上设置有多种型号的测试工位和多种类型的黑体，可适应不同型号红外焦平面阵列探测器参数性能自动化测试，能够提高红外焦平面阵列探测器参数性能自动化测试设备的包容性和生产力。

技术领域

本实用新型涉及半导体光电子及自动化生产设备领域，具体而言，涉及一种红外焦平面阵列探测器参数性能自动化测试设备。

背景技术

红外成像技术越来越广泛地应用于工业传感、图像监测、汽车工业、消防搜救、甚至军事上的导航与夜视等领域。红外焦平面阵列探测器作为红外系统及热成像器件的关键部件，其从设计到加工制造再到包装上市需要经历性能测试环节，对其元响应电压、元电压响应率、元噪声电压等性能参数进行测试，以确保其性能参数达到标准。

目前红外焦平面阵列探测器主要由人工将单一探测器放到测试系统进行测试，并由人眼观察测试探测器型号编号并对应记录测试结果，测试完后再人工将测试探测器分类、摆盘等，生产效率低下，无法满足大规模高效生产的需求。或者已有的自动化测试设备，单次测试探测器数量较少，且无法更换不同型号黑体及调整黑体位置，只能测试单一款探测器，因此设备包容性较差，生产力较低。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种红外焦平面阵列探测器参数性能自动化测试设备，以解决现有技术中红外焦平面阵列探测器参数性能自动化测试设备的生产力低的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种红外焦平面阵列探测器参数性能自动化测试设备，包括：主机主体，所述主机主体包括安装柜和固定台板，所述安装柜内放置有工控机，所述固定台板安装在所述安装柜上；料盘自动上下料装置，所述料盘自动上下料装置安装在所述固定台板上，且所述料盘自动上下料装置与所述工控机通讯连接；黑体组件，所述黑体组件安装在所述固定台板上并与所述工控机通讯连接，所述黑体组件包括多种类型的黑体，多种类型的所述黑体可选择地安装在所述黑体组件中；测试工位系统，所述测试工位系统安装在所述固定台板上并位于所述黑体组件的底部，所述测试工位系统与所述工控机通讯连接，所述测试工位系统包括多种型号的测试工位，多种型号的所述测试工位可选择地设置在所述测试工位系统中；机械手行走装置，所述机械手行走装置安装在固定台板上并与所述工控机通讯连接，以使红外焦平面阵列探测器在所述料盘自动上下料装置和所述测试工位系统之间移动。

进一步地，所述主机主体还包括：防护罩，所述防护罩安装在所述固定台板上并罩设在所述料盘自动上下了装置、所述黑体组件、所述测试工位系统以及所述机械手行走装置上；显示屏，所述显示屏安装在所述防护罩顶部并与所述工控机通讯连接；指示灯，所述指示灯安装在所述防护罩顶部并与所述工控机通讯连接；触摸屏输入装置，所述触摸屏输入装置位于所述防护罩外部并安装在所述固定台板上，所述触摸屏输入装置与所述工控机通讯连接；操作按钮，所述操作按钮安装在所述防护罩外侧并与所述工控机通讯连接。

进一步地，所述防护罩上设置有透明拉门。

进一步地，所述料盘自动上下料装置包括：定位部，所述定位部包括相互连接的上平板和下平板，所述上平板与所述固定台板平齐，所述上平板的长度方向与所述固定台板的长度方向一致，且所述上平板的长度方向设置有上料区、待测区以及下料区，所述上料区设置有夹紧装置，所述待测区设置有侧向夹紧装置；导向板，多块所述导向板安装在所述上平板上并包围在所述上料区的外周；移动板，所述移动板安装在所述上料区内；顶升装置，所述顶升装置安装在所述导向板上以使所述移动板沿高度方向升降；传动装置，所述传动装置安装在所述下平板上以用于将所述待测区的物料移动至所述下料区。