[实用新型]一种蚀刻机喷嘴堵塞快捷清洁装置

权利要求书

1.一种蚀刻机喷嘴堵塞快捷清洁装置，其特征在于，包括喷头(2)、气管(11)、喷管(8)和托盘(6)；

喷头(2)设置在喷管(8)上，喷管(8)的顶部外周上设置有螺纹齿(10)；喷管(8)的底部外周上设置有与蚀刻机连接的外螺纹(9)；喷头(2)通过螺纹齿(10)与喷管(8)可拆卸连接；喷头(2)的顶部设置有喷嘴(4)，喷头(2)的内部设置有空腔(3)；空腔(3)朝向喷嘴(4)的方向直径逐渐减小；喷管(8)的顶部深入空腔(3)内部，并与空腔(3)导通连接；

托盘(6)设置在喷管(8)的外周上，托盘(6)为圆环形；托盘(6)的顶部与喷头(2)的底部相接触；托盘(6)上设置有供气管(11)穿过的通孔；喷头(2)的对应位置处设置有通道，喷头(2)的内部设置有密封件(5)，密封件(5)覆盖在通道的顶部；密封件(5)的中部设置有供气管(11)穿过的通槽(13)；密封件(5)上交错设置有多个密封垫片(14)，密封垫片(14)包括固定部(141)和活动部(142)，固定部(141)与密封件(5)上通槽(13)的内壁相连接，活动部(142)设置在固定部(141)上，并朝向通槽(13)内部延伸；活动部(142)沿着竖直方向向上单向开启；

气管(11)的底部设置有连接管(7)，连接管(7)与外部高压气源连接。

2.根据权利要求1所述的蚀刻机喷嘴堵塞快捷清洁装置，其特征在于，喷头(2)的外周上设置有便于增大摩擦力的握持部(1)。

3.根据权利要求1所述的蚀刻机喷嘴堵塞快捷清洁装置，其特征在于，喷头(2)的内部设置有固定件(12)，固定件(12)位于密封件(5)的两侧。

4.根据权利要求1所述的蚀刻机喷嘴堵塞快捷清洁装置，其特征在于，高压气源为氮气。

5.根据权利要求1所述的蚀刻机喷嘴堵塞快捷清洁装置，其特征在于，连接管(7)为橡胶材料制成的弹性管。

6.根据权利要求1所述的蚀刻机喷嘴堵塞快捷清洁装置，其特征在于，气管(11)的顶部设置有橡胶盖板(15)，橡胶盖板(15)设置3-6片；橡胶盖板(15)沿着竖直方向向上单向开启。

7.根据权利要求1所述的蚀刻机喷嘴堵塞快捷清洁装置，其特征在于，喷头(2)的内壁上涂有润滑油膜。