[实用新型]一种液体中微小颗粒的检测装置

说明书

一种液体中微小颗粒的检测装置，其包括流通池、激光器、散射光收集装置、光电探测器、布拉格光栅和第一光纤耦合器，所述散射光收集装置收集到的散射光线通过所述第一光纤耦合器送入所述光纤布拉格光栅，所述光纤布拉格光栅收到所述散射光线后的反射光线通过所述第一光纤耦合器送入所述光电探测器。通过本装置可以消除液体所产生的绝大部分散射光，降低了液体散射光对粒子所产生的散射光信号的干扰，使得光电探测器所捕获的散射光信号主要为粒子所产生的光信号。提高了整个检测装置的信噪比。增强了检测装置检测微小粒子的检测能力，从而可以检测到更小粒径的粒子。

技术领域

本发明涉及液体中颗粒检测设备领域，特别是一种液体中微小颗粒的检测装置。

背景技术

液体颗粒计数器主要用于检测液体中的微小颗粒污染物。它在半导体工艺过程控制中有着重要的应用，用于检测超纯水或者化学试剂的洁净程度。光散射法是目前液体颗粒计数器所采用的主要检测方法。

当入射光照射到颗粒的时候，微小颗粒会和入射光发生相互作用，产生散射光，散射光的大小和颗粒的大小相关。因此，根据颗粒产生的散射光信号的大小可以测量出颗粒的大小，并对颗粒的数量进行计数。

由于所测量的液体中的微小颗粒直径非常小，通常在1微米以下，产生的散射光也非常微弱。对于液体颗粒计数器，当入射光照射到微小颗粒的同时，也会照射到液体本身，液体本身会产生散射射光，液体产生的散射光对粒子产生的散射光信号会产生干扰，严重制约了系统的检测能力。

发明内容

本发明的目的是提供一种能够去除液体对检测结果干扰的液体中微小颗粒的检测装置。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种液体中微小颗粒的检测装置，其包括内部具有供液体通过的液体通道的流通池、产生射向所述液体通道的激光的激光器、收集流通池受到激光束照射后散射的散射光线的散射光收集装置和光电探测器，所述检测装置还包括光纤布拉格光栅和第一光纤耦合器，所述光纤布拉格光栅的反射波长和所述激光器所发出的波长相同，所述光纤布拉格光栅、所述散射光收集装置与所述光电探测器通过第一光纤耦合器相连接，所述散射光收集装置收集到的散射光线通过所述第一光纤耦合器送入所述光纤布拉格光栅，所述光纤布拉格光栅收到所述散射光线后的反射光线通过所述第一光纤耦合器送入所述光电探测器。

优选地，所述流通池为透明材料制成的长方体，所述液体通道为所述流通池中沿其长度方向设置的通孔。

进一步优选地，所述液体通道为圆形孔，其直径为0.5-2mm。

进一步优选地，所述激光束垂直所述液体通道射入所述液体通道的中心位置。

进一步优选地，所述散射光收集装置包括汇集透镜和光纤，汇集透镜将散射光纤汇集至所述光纤端部并被所述光纤所收集。

进一步优选地，所述汇集透镜胶合在流通池的表面上，流通池流体通道的中心位于汇集透镜的物面位置。

进一步优选地，所述散射光收集装置设置有两组，所述检测装置还包括分别连接两组所述散射光收集装置和第一光纤耦合器的第二光纤耦合器，两组所述散射光收集装置接收到的散射光线通过第二光纤耦合器合并后送入所述第一光纤耦合器。

进一步优选地，两组所述散射光收集装置分别收集所述流通池相对两面散射出的光线。

优选地，所述检测装置还包括吸收光线的光陷阱，所述光陷阱位于所述激光束通过所述流通池后的射出方向上。

由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：