[实用新型]一种组合式真空差分结构

权利要求书

1.一种组合式真空差分结构，其包括波纹管(1)和差分管(3)，其特征在于，所述波纹管(1)的上游端与一双面刀口法兰(2)相连，所述双面刀口法兰(2)的中央处设有通孔(211)，所述差分管(3)设于波纹管(1)的腔体内且一端固定于该双面刀口法兰(2)的通孔(211)处。

2.根据权利要求1所述的组合式真空差分结构，其特征在于，所述波纹管(1)为焊接波纹管，其包括硬管接头(11)、以及分别设于其上游端和下游端的两个单面刀口法兰(12、13)。

3.根据权利要求2所述的组合式真空差分结构，其特征在于，所述设于波纹管(1)的上游端的单面刀口法兰(12)为松套法兰，且其法兰连接孔为通孔。

4.根据权利要求3所述的组合式真空差分结构，其特征在于，所述双面刀口法兰(2)包括板状的本体(21)和分别设于本体(21)的两个侧面上的刀口密封槽，所述双面刀口法兰(2)的法兰连接孔为螺纹孔，其中一个刀口密封槽(22)与所述波纹管(1)的上游端的单面刀口法兰(12)通过螺栓固定，另一个刀口密封槽用于密封连接上游设备(100)。

5.根据权利要求1所述的组合式真空差分结构，其特征在于，所述通孔(211)的截面尺寸与差分管(3)的配合截面外轮廓尺寸一致，且所述差分管(3)的一端焊接固定于双面刀口法兰(2)的通孔(211)处。

6.根据权利要求1所述的组合式真空差分结构，其特征在于，所述差分管为圆截面，且所述差分管一端加工为具有凸缘的管道，该凸缘上设有密封用刀口，该密封用刀口与双面刀口法兰的刀口通过铜垫圈密封固定。

7.根据权利要求1所述的组合式真空差分结构，其特征在于，所述差分管(3)为的截面为圆形或矩形。

8.根据权利要求1所述的组合式真空差分结构，其特征在于，所述差分管(3)的长度l为：

l≦2δ₁+δ₂+(D-d)L/2Δ，

其中，d为差分管(3)的圆截面外径，单位为mm，δ₁为双面刀口法兰(2)和波纹管(1)相连接法兰厚度，单位为mm，δ₂为波纹管(1)的硬管接头(11)的长度，单位为mm，L为波纹管(1)的长度，单位为mm，D为波纹管(1)的内径，单位为mm，±Δ为波纹管(1)的横向运动位移，单位为mm。

9.根据权利要求1所述的组合式真空差分结构，其特征在于，所述差分管(3)的长度至多为波纹管(1)的长度。

10.根据权利要求1所述的组合式真空差分结构，其特征在于，所述波纹管(1)、双面刀口法兰(2)和差分管(3)的材料均为不锈钢。