[实用新型]一种带有旋转搅拌装置的VAD芯棒沉积设备反应釜

权利要求书

1.一种带有旋转搅拌装置的VAD芯棒沉积设备反应釜，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)的表面固定连接有保温层(3)，所述保温层(3)的表面固定连接有隔音罩(4)，所述壳体(1)的顶部通过螺栓(16)固定连接有密封盖(17)，所述密封盖(17)的顶部固定连接有电器箱(14)，所述电器箱(14)内壁的顶部固定连接有驱动组件(13)，所述驱动组件(13)内固定连接有第一转轴(11)和两个第二转轴(23)，所述第一转轴(11)和第二转轴(23)的表面分别套接有第一轴承(12)和第二轴承(15)，所述第一轴承(12)和第二轴承(15)固定连接在密封盖(17)上，所述第一转轴(11)的底端穿过第一轴承(12)并位于壳体(1)内部，所述第一转轴(11)的表面固定连接有若干个搅拌叶(2)，所述第二转轴(23)的底端穿过第二轴承(15)并固定连接有螺杆(10)，所述螺杆(10)位于壳体(1)内部，所述壳体(1)内壁的前侧和后侧固定连接有循环管(21)，所述壳体(1)的侧面固定连接有加热箱(18)，所述加热箱(18)的侧面设置有滤网，所述加热箱(18)内固定连接有加热器(20)，所述加热箱(18)的侧面固定连接有循环管(21)，所述加热箱(18)内壁的侧面固定连接有气泵(19)，所述气泵(19)与循环管(21)道固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种带有旋转搅拌装置的VAD芯棒沉积设备反应釜，其特征在于：所述驱动组件(13)包括电机(133)、主动齿轮(132)和两个从动齿轮(131)，所述电机(133)固定连接在电器箱(14)内壁的顶部，所述电机(133)的输出轴上固定连接有主动齿轮(132)，所述主动齿轮(132)与两个从动齿轮(131)啮合，所述主动齿轮(132)和从动齿轮(131)内分别固定连接有第一转轴(11)和第二转轴(23)。

3.根据权利要求1所述的一种带有旋转搅拌装置的VAD芯棒沉积设备反应釜，其特征在于：所述隔音罩(4)的侧面设置有进料口(22)，所述密封盖(17)的顶部设置有排气管(24)，所述隔音罩(4)的底部设置有出料管(6)，所述出料管(6)上设置有阀门(7)。

4.根据权利要求1所述的一种带有旋转搅拌装置的VAD芯棒沉积设备反应釜，其特征在于：所述隔音罩(4)的底部固定连接有支撑腿(5)，所述支撑腿(5)的底端固定连接有防滑垫(8)。

5.根据权利要求1所述的一种带有旋转搅拌装置的VAD芯棒沉积设备反应釜，其特征在于：所述电器箱(14)的正面设置有按钮开关(9)，所述按钮开关(9)与电机(133)、气泵(19)和加热器(20)通过导线电性连接。