[实用新型]一种金属连线应力迁移的测试结构及电子装置

权利要求书

1.一种金属连线应力迁移的测试结构，其特征在于，所述测试结构包括：

间隔设置的第一焊盘、第二焊盘、第三焊盘和第四焊盘；

电连接线，其中，所述电连接线的第一端同时连接所述第一焊盘和所述第二焊盘，所述电连接线的第二端同时连接所述第三焊盘和所述第四焊盘，所述电连接线位于所述第一端和第二端之间的中间部分构造为弯折且一端封闭的条形区域，其中，所述条形区域具有相对设置且隔离的两条边。

2.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述测试结构还包括：

电阻测量单元，用于测定所述电连接线的电阻值，并将所述电阻值与设定阈值比较，当所述电阻值小于所述设定阈值时所述条形区域的所述两条边发生电连接。

3.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述条形区域的所述两条边之间的间距相等。

4.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述条形区域弯折为蛇形弯曲，或，所述条形区域为弓形区域。

5.根据权利要求1或4所述的测试结构，其特征在于，所述条形区域中弯折后相邻的条形部分之间的距离大于所述条形区域的所述两条边之间的距离。

6.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述条形区域的所述两条边中的任意一边发生金属电迁移突出以及熔融中的至少一种时，则发生所述两条边的电连接。

7.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述第一焊盘、所述第二焊盘、所述第三焊盘和所述第四焊盘的下方均设置有互连结构，所述互连结构包括若干金属层和位于相邻金属层之间的通孔。

8.根据权利要求1所述的测试结构，其特征在于，所述电连接线的长度在1000微米以上。

9.根据权利要求1或7所述的测试结构，其特征在于，所述第一焊盘、第二焊盘、第三焊盘和第四焊盘与所述电连接线位于同一层。

10.一种电子装置，其特征在于，所述电子装置包括权利要求1至9之一所述的测试结构。