[实用新型]一种面蒸镀源结构和设备

说明书

本实用新型提供一种面蒸镀源结构和设备，包括坩埚、扩散腔和分散板，扩散腔设置在坩埚开口上，所述扩散腔底部开口坩埚顶部开口等大，扩散腔内设置有扩散板，扩散板上面设置有多个蒸汽扩散孔，扩散腔的开口由下往上依次增大，分散板盖在扩散腔的上开口处，分散板为平面板状结构，分散板上设置有多个喷嘴，所述喷嘴贯通分散板的上下面，所述喷嘴在分散板上均匀排列。上述技术方案通过在坩埚上的整个开口上设置扩散腔，可以减少扩散腔的侧壁面积，可以有效改善有机材料的利用率，降低蒸镀制程生产成本。可以缩小蒸镀设备整体的体积，降低设备采购成本。且通过扩散板的喷嘴，可以改善蒸镀成膜均匀性，可以提升蒸镀良率，降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种面蒸镀源结构和设备。

背景技术

AMOLED技术具有高亮度，高对比度，高色彩饱和度等技术优势，在目前的消费电子领域，尤其是智能手机领域已经是高端的代名词。AMOLED显示屏幕制造技术有蒸镀制备法和热转印制备法及打印制备法等。其中蒸镀制备法是目前唯一量产的生产工艺，其主要是利用坩埚将有机材料加热至气态，进而通过FMM与背板的精确对位，将有机材料蒸镀在背板的发光区域。现有的蒸镀机量产应用的source(蒸镀源)有两种，一种是Point source(点源)，另一种是linear source(线源)。两种source相比较，linear source的材料利用率相对较高，20％左右，Point source为5％左右，所以目前的量产工厂大部分均采用Linearsource进行生产。Linear source的结构是一个下部为一个条形的坩埚用来承装有机材料，上部为有机蒸汽喷射Nozzle(喷嘴)，通过Nozzle来定义蒸镀角，linear source的长度与背板的宽度相当，所以在制程中是将linear source固定在机械手臂上，沿着背板的方向进行扫描移动来完成镀膜的，其在运动过程中大部分有机材料会附着在蒸镀腔壁上。Linersource对于有机材料的利用率依然比较低，80％的有机材料被蒸镀在蒸镀腔壁上，形成巨大的浪费。

实用新型内容

为此，需要提供一种面蒸镀源结构和设备，解决现有蒸镀材料浪费的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种面蒸镀源结构，包括坩埚、扩散腔和分散板，扩散腔设置在坩埚开口上，所述扩散腔底部开口坩埚顶部开口等大，扩散腔内设置有扩散板，扩散板上面设置有多个蒸汽扩散孔，扩散腔的开口由下往上依次增大，分散板盖在扩散腔的上开口处，分散板为平面板状结构，分散板上设置有多个喷嘴，所述喷嘴贯通分散板的上下面，所述喷嘴在分散板上均匀排列。

进一步地，所述坩埚底部为弧形底部。

进一步地，所述坩埚壁、扩散腔壁或者分散板内置有电热丝。

进一步地，所述坩埚、扩散腔或者分散板为陶瓷材质。

进一步地，所述扩散板的数量为多个，多个的扩散板由上往下依次设置在扩散腔内，扩散板上的蒸汽扩散孔的大小由下往上依次变小且数量由下往上依次变多。

进一步地，所述扩散板上的蒸汽扩散孔的总面积占扩散板面积的50％-60％。

进一步地，所述喷嘴的顶端往分散板四周倾斜。

进一步地，所述喷嘴的直径为1mm-2mm的圆孔，喷嘴间距为3mm-5mm。

本实用新型提供一种具有面蒸镀源结构的蒸镀设备，所述面蒸镀源结构为上述任意一项实施例所述的面蒸镀源结构。

区别于现有技术，上述技术方案通过在坩埚上的整个开口上设置扩散腔，可以减少扩散腔的侧壁面积，可以有效改善有机材料的利用率，降低蒸镀制程生产成本。可以缩小蒸镀设备整体的体积，降低设备采购成本。且通过扩散板的喷嘴，可以改善蒸镀成膜均匀性，可以提升蒸镀良率，降低生产成本。

附图说明