[实用新型]一种晶体炉拉伸机构

说明书

本实用新型涉及晶体材料加工技术领域，尤其为一种晶体炉拉伸机构，包括炉室、第一电机和减速器，所述炉室的内部设置有坩埚，且坩埚的底部固定有坩埚托盘，所述坩埚托盘的下方安装有对中套，且对中套的斜下方安置有传动部件，本实用新型中，通过设置的导向架、光轴、对中套和坩埚杆，在导向架处于升降过程中，导向架通过相互连接的设置，可沿着光轴的表面进行上下移动，该装置借助这一移动操作，可对整个升降动作起到辅助导向的作用，并且在结合对中套呈两半的形式套接在坩埚杆上，在坩埚杆上升过程中，可辅助坩埚杆对正炉室的中心位置，相对于以往的传动拉伸移动结构，该拉伸机构稳定性好、精度高，不易产生震动。

技术领域

本实用新型涉及晶体材料加工技术领域，具体为一种晶体炉拉伸机构。

背景技术

随着科学技术的发展，对晶体材料的要求越来越高，这也意味着对晶体材料的生长工艺和生长设备的要求越来越高，晶体材料由结晶物质构成的固体材料。其所含的原子、离子、分子或粒子集团等具有周期性的规则排列，晶体生长设备和生长工艺关键技术之一就是拉伸机构的稳定性、精度和可靠性。

市面上的晶体炉拉伸机构在进行加工过程中主要存在着稳定性差、易产生震动等缺点，并且在加工过程中因自身组成材质问题，具有高重量、不便于后期的维修操作的特点，因此，针对上述问题提出一种晶体炉拉伸机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶体炉拉伸机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶体炉拉伸机构，包括炉室、第一电机和减速器，所述炉室的内部设置有坩埚，且坩埚的底部固定有坩埚托盘，所述坩埚托盘的下方安装有对中套，且对中套的斜下方安置有传动部件，所述第一电机设置于传动部件的下方，且第一电机的一侧安装有支架，所述支架的中部固定有线性导轨，且线性导轨的一侧设置有光栅尺，所述线性导轨的另一侧安装有滚珠丝杠，且滚珠丝杠的下方固定有导向架，所述减速器通过螺钉固定设置于支架的底部，且减速器的下方连接有第二电机，所述支架的上方固定有坩埚杆，且支架的底部安置有直线轴承，所述坩埚杆的外端套接有波纹管，且波纹管的一侧固定有光轴。

优选的，所述支架由上安装板、U型铝材和下安装板组成框架结构，且支架通过螺钉和炉室固定连接。

优选的，所述坩埚杆的内部呈中空状结构安装于导向架上，且坩埚杆和坩埚托盘之间相互垂直，所述坩埚托盘的顶部安装有外形呈“U”型结构的坩埚。

优选的，所述波纹管和坩埚杆的连接构成嵌套结构，且波纹管和光栅尺之间相互平行。

优选的，所述光轴和导向架之间的连接构成一90°的垂直角，且导向架的底部和直线轴承的顶部之间相互贴合，所述导向架通过嵌套和光轴相连接，且光轴和坩埚杆之间相邻设置，所述坩埚杆的竖向中轴线和炉室的竖向中轴线之间相互重合，且坩埚杆通过套接和对中套相连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过设置的导向架、光轴、对中套和坩埚杆，在导向架处于升降过程中，导向架通过相互连接的设置，可沿着光轴的表面进行上下移动，该装置借助这一移动操作，可对整个升降动作起到辅助导向的作用，并且在结合对中套呈两半的形式套接在坩埚杆上，在坩埚杆上升过程中，可辅助坩埚杆对正炉室的中心位置，相对于以往的传动拉伸移动结构，该拉伸机构稳定性好、精度高，不易产生震动；

2、本实用新型中，通过设置的上安装板、U型铝材和下安装板，在整个拉伸机构安装时，该装置借助上安装板、U型铝材和下安装板构成的框架加工，来便于多个零部件得以被固，并且整个框架结构主要采用U型的铝材支架，相对于以往的支撑结构，可有效地减小整个支撑结构的重量，同时也便于进行对应的安装。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；