[实用新型]石英坩埚局部涂层制备用治具

权利要求书

1.一种石英坩埚局部涂层制备用治具，其特征在于，包括

涂层限位环；以及

至少两个定位臂，所述定位臂的一端设置于所述涂层限位环上，另一端向上延伸，所述定位臂远离所述涂层限位环的一端设置有限位卡，若干所述定位臂位于同一圆周上，且该圆周的正投影与所述涂层限位环的正投影同圆心。

2.如权利要求1所述的石英坩埚局部涂层制备用治具，其特征在于，所述定位臂包括水平臂及直立臂，所述水平臂的一端连接所述涂层限位环，所述直立臂连接所述水平臂远离所述涂层限位环的一端，且垂直于所述涂层限位环。

3.如权利要求2所述的石英坩埚局部涂层制备用治具，其特征在于，所述水平臂上具有可伸缩结构。

4.如权利要求2或3所述的石英坩埚局部涂层制备用治具，其特征在于，所述直立臂上具有可伸缩结构。

5.如权利要求4所述的石英坩埚局部涂层制备用治具，其特征在于，所述直立臂包括固定臂及伸缩臂，所述固定臂的一端连接所述水平臂，所述伸缩臂插接于所述固定臂远离所述水平臂的一端，且能够沿所述固定臂上下滑动。

6.如权利要求5所述的石英坩埚局部涂层制备用治具，其特征在于，所述固定臂与所述伸缩臂上，位于所述固定臂与所述伸缩臂的连接处，开设有固定槽，所述固定槽内设置有定位螺母，所述定位螺母能够将所述固定臂与所述伸缩臂固定。

7.如权利要求1所述的石英坩埚局部涂层制备用治具，其特征在于，所述限位卡固定设置于所述定位臂远离所述涂层限位环的一端，且所述限位卡具有水平定位部，所述水平定位部平行于所述涂层限位环。

8.如权利要求1所述的石英坩埚局部涂层制备用治具，其特征在于，所述涂层限位环的上边沿设置圆角。

9.如权利要求1所述的石英坩埚局部涂层制备用治具，其特征在于，所述涂层限位环的内径为12英寸～22.4英寸。