[实用新型]一种真空管道清洁装置有效

专利信息
申请号: 201922012496.5 申请日: 2019-11-20
公开(公告)号: CN210966214U 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 西安奕斯伟硅片技术有限公司
主分类号: B08B9/051 分类号: B08B9/051;B08B13/00
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静;刘伟
地址: 710065 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 管道 清洁 装置
【说明书】:

实用新型涉及一种真空管道清洁装置,包括:中空腔体;位于所述中空腔体的一侧的至少一个清洁管道,至少一个所述清洁管道的数量与真空管道的数量相同,每个所述清洁管道的一端与所述中空腔体内部连通,每个所述清洁管道的另一端能够封接于相应的真空管道的端口上,使得真空管道与相应的所述清洁管道连通;清洁结构,包括位于所述中空腔体内的驱动部以及位于所述清洁管道内的清洁部,所述清洁部具有能够与真空管道的内壁接触的清洁刷,所述驱动部通过一传动部控制所述清洁部沿着所述清洁管道进入到相应的真空管道内、并控制所述清洁部在真空管道内运动以对真空管道进行清洁。

技术领域

本实用新型涉及真空管道清洁技术领域,尤其涉及一种真空管道清洁装置。

背景技术

拉晶过程中产生大量氧化物,大量氧化物随气体经真空泵带走,部分会附着在真空管道壁上,停炉后需要人工手动清理,清理不彻底会导致后期产品不稳定;而清理真空管道壁上的氧化物一般均采用人工清洁,清洁状况难以控制,并且影响周围环境的洁净度及操作人员身体健康。

实用新型内容

为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种真空管道清洁装置,解决真空管道清理不彻底以及人工清理影响周围环境的洁净度及操作人员身体健康的问题。

为了达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种真空管道清洁装置,包括:

中空腔体;

位于所述中空腔体的一侧的至少一个清洁管道,至少一个所述清洁管道的数量与待清洁的真空管道的数量相同,每个所述清洁管道的一端与所述中空腔体内部连通,每个所述清洁管道的另一端能够封接于相应的待清洁的真空管道的端口上,使得待清洁的真空管道与相应的所述清洁管道连通;

清洁结构,包括位于所述中空腔体内的驱动部以及位于所述清洁管道内的清洁部,所述清洁部具有能够与待清洁的真空管道的内壁接触的清洁刷,所述驱动部通过一传动部控制所述清洁部沿着所述清洁管道进入到相应的待清洁的真空管道内、并控制所述清洁部在待清洁的真空管道内运动以对待清洁的真空管道进行清洁。

可选的,所述清洁部包括具有形状与所述清洁管道的形状相符的圆盘,所述圆盘的四周包覆有毛刷以形成所述清洁刷。

可选的,所述清洁部包括通过连接块连接的至少两层形状与所述清洁管道的形状相符的圆盘,每层所述圆盘的四周包覆有毛刷以形成所述清洁刷。

可选的,所述驱动部包括第一电机,所述传动部包括缠绕于所述电机的传动轴上的牵引线,所述牵引线的另一端连接于所述清洁部上,所述清洁部在所述第一电机的驱动以及自身重力的配合下能够沿着所述清洁管道的径向方向往复运动。

可选的,所述驱动部还包括第二电机,能够控制所述清洁部沿着所述清洁管道的轴向方向所在的平面内旋转。

可选的,所述清洁管道内壁设置有准直挡块,所述准直挡块具有与所述清洁管道的径向方向相平行的准直导向面,所述牵引线沿着所述准直导向面移动以使得所述清洁部沿着所述清洁管道的径向方向移动。

可选的,所述准直挡块包括相对设置的两个子挡块,所述两个子挡块之间具有能够使得所述牵引线穿过的缝隙。

可选的,所述准直挡块设置于所述清洁管道靠近所述中空腔体的一端。

可选的,所述中空腔体与所述清洁管道为一体结构。

本实用新型的有益效果是:采用自动的方式进行清理,有效且快速的清理真空管道内的异物,避免对操作人员造成人身伤害,且通过清洁管道封接于真空管道的端口后,形成封闭环境,避免了对环境的污染。

附图说明

图1表示本实用新型实施例中真空管道清洁装置结构示意图。

具体实施方式

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