[实用新型]一种用于石墨舟的监控装置

说明书

本实用新型公开了一种用于石墨舟的监控装置，属于电池片生产技术领域。监控装置包括测量表和由所述测量表引出的两个接触电极，两个所述接触电极能够分别与石墨舟上同一石墨舟片的不同卡点进行接触连接，以获得两个所述卡点之间的电阻值，所述电阻值由所述测量表进行显示，用于表征所述石墨舟的使用寿命。本实用新型通过对同一石墨舟片上不同卡点之间的电阻进行检测，以电阻值大小来获得石墨舟的镀膜沉积情况，进而判断石墨舟的使用寿命是否达到极限，检测方式简单可靠、结果直观，既避免了石墨舟超寿命发现不及时造成的返工，减少了产能损失，也实现了石墨舟的高效合理应用，降低了生产成本。

技术领域

本实用新型涉及电池片生产技术领域，尤其涉及一种用于石墨舟的监控装置。

背景技术

为了提高电池片的减反射和表面钝化效果，需要在电池片的表面进行等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)，沉积一层氮化硅薄膜，具体实现方式便是将电池片插设于石墨舟上，再将石墨舟推送至管式PECVD炉内，完成镀膜沉积。由于石墨舟本身也具有较高的导电性，其自身也会在管内发生氮化硅薄膜的沉积，为了不使石墨舟的镀膜沉积过程对电池片的镀膜沉积造成影响，一般认为石墨舟的使用寿命为60-80次。在经过60次镀膜后，对电池片的镀膜沉积效果进行检测，若发生异常，则需要对石墨舟镀膜进行清洗，避免其干涉电池片镀膜，若不发生异常，则认为石墨舟仍能继续使用，直至完成80次的使用频率，再对石墨舟进行强制清洗。

上述通过对石墨舟的使用频率进行监控在一定程度上能够避免石墨舟的镀膜沉积对电池片镀膜的影响，但是若在60-80次之间的过程中发生电池片的镀膜异常，则无法提前确定石墨舟的超寿命使用，进而造成电池片的返工；但若石墨舟在使用80次后电池片镀膜仍无异常，此时仍强制进行石墨舟的下线清洗，则无法实现石墨舟的高效、充分使用，增加了清洗频率，提高了生产成本。

因此，亟待提供一种用于石墨舟的监控装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于石墨舟的监控装置，既避免了石墨舟超寿命发现不及时造成的返工，也实现了石墨舟的高效合理应用，降低了生产成本。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

一种用于石墨舟的监控装置，包括测量表和由所述测量表引出的两个接触电极，两个所述接触电极能够分别与石墨舟上同一石墨舟片的不同卡点进行接触连接，以获得两个所述卡点之间的电阻值，所述电阻值由所述测量表进行显示，用于表征所述石墨舟的使用寿命。

作为优选，还包括与所述测量表通讯连接的第一报警器，所述第一报警器被配置为当所述测量表所测得的电阻值到达上限参考值时发出警报。

作为优选，还包括与所述测量表通讯连接的第二报警器，所述第二报警器用于石墨舟的饱和工序，且被配置为当所述测量表所测得的电阻值到达下限参考值时发出警报。

作为优选，所述接触电极与所述石墨舟上最外侧的所述石墨舟片上的所述卡点进行接触连接。

作为优选，所述石墨舟片上设置多个呈线性分布的电池片放置位置，每个所述电池片放置位置沿石墨舟传送方向的两侧均设置多个卡点；两个所述接触电极分别连接于某一所述电池片放置位置沿石墨舟传送方向的两侧的所述卡点。

作为优选，所述监控装置设于石墨舟传送通道的防护栏上，所述石墨舟传送通道位于主机台与上下料机台之间。

作为优选，所述测量表固定于所述防护栏上，所述接触电极通过导线引出所述测量表，所述接触电极通过位移驱动机构设于所述防护栏上，以使所述接触电极在空间内的位置可调。