[实用新型]一种退火设备

权利要求书

1.一种退火设备，其特征在于，包括：

退火腔体(1)，用于放置硅片组(100)，所述硅片组(100)包括叠垛的多个待退火硅片；

电极机构(2)，其包括分别设置于所述退火腔体(1)上顶面和所述退火腔体(1)下底面的电极组件(21)，位于上方的所述电极组件(21)的一侧能够与所述硅片组(100)中位于最上层的所述待退火硅片的表面相抵接，位于下方的所述电极组件(21)的一侧能够与所述硅片组(100)中位于最下层的所述待退火硅片的表面相抵接，所述电极组件(21)远离所述硅片组(100)的一侧均设置有多个散热凸起(22)；

散热机构(3)，其包括设置于所述退火腔体(1)上部的抽风组件(31)和设置于所述退火腔体(1)下部以及侧壁上的吹风组件(32)。

2.根据权利要求1所述的退火设备，其特征在于，所述电极机构(2)还包括高度调节组件，所述高度调节组件被配置为调节两个所述电极组件(21)之间的距离，以使所述硅片组(100)被夹持于两个所述电极组件(21)之间。

3.根据权利要求1所述的退火设备，其特征在于，所述退火设备还包括加热组件，所述加热组件能够对所述硅片组(100)加热。

4.根据权利要求1所述的退火设备，其特征在于，所述吹风组件(32)包括承载板(321)和风扇(322)，所述承载板(321)上设置有多个出气孔(3211)，所述风扇(322)设置于远离所述退火腔体(1)的一侧，所述风扇(322)吹出的风能够通过所述出气孔(3211)吹入所述退火腔体(1)内，所述退火腔体(1)的下部以及侧壁上均设置有所述承载板(321)。

5.根据权利要求4所述的退火设备，其特征在于，所述风扇(322)设置有多个，多个所述风扇(322)沿所述承载板(321)的表面阵列分布。

6.根据权利要求1所述的退火设备，其特征在于，所述退火设备还包括片盒组件(4)，所述片盒组件(4)能够放置于所述退火腔体(1)内，用于承载所述硅片组(100)。

7.根据权利要求6所述的退火设备，其特征在于，所述片盒组件(4)包括：

容纳框(41)；

导电板(42)，其设置于所述容纳框(41)内，所述硅片组(100)放置于所述导电板(42)上，所述导电板(42)远离所述硅片组(100)的一侧与位于下方的所述电极组件(21)相抵接。

8.根据权利要求7所述的退火设备，其特征在于，所述片盒组件(4)还包括两个支撑支架(43)，两个所述支撑支架(43)设置于所述容纳框(41)的两个相对的边框的下部，位于下方的所述电极组件(21)能够位于两个所述支撑支架(43)之间。

9.根据权利要求7所述的退火设备，其特征在于，所述片盒组件(4)还包括多个限位支架(44)，多个所述限位支架(44)沿所述容纳框(41)的周向间隔设置，所述硅片组(100)容纳于多个所述限位支架(44)围设的容纳空间内。

10.根据权利要求6所述的退火设备，其特征在于，所述退火腔体(1)内还设置有传输组件(11)，所述传输组件(11)用于传输所述片盒组件(4)进出所述退火腔体(1)。