[实用新型]吸附剂对SF6气体的吸附性能评价装置有效
申请号: | 201922019024.2 | 申请日: | 2019-11-21 |
公开(公告)号: | CN211936225U | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
发明(设计)人: | 李建国;汪献忠;朱会 | 申请(专利权)人: | 河南省日立信股份有限公司 |
主分类号: | B01D53/04 | 分类号: | B01D53/04 |
代理公司: | 郑州豫开专利代理事务所(普通合伙) 41131 | 代理人: | 朱俊峰 |
地址: | 450001 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 吸附剂 sf6 气体 吸附 性能 评价 装置 | ||
1.吸附剂对SF6气体的吸附性能评价装置,其特征在于:包括气源、质量流量控制器、吸附柱、气体浓度传感器、针阀;气源出口通过气体管路连接质量流量控制器的进气口,质量流量控制器输出口连接吸附柱底端的进气口,吸附柱顶部的出气口连接两支气体管路,其中第一支管路上设有气体浓度传感器,第二支管路上设有针阀。
2.根据权利要求1所述的吸附剂对SF6气体的吸附性能评价装置,其特征在于:所述的气源已知浓度的SF6与空气的混合。
3.根据权利要求1所述的吸附剂对SF6气体的吸附性能评价装置,其特征在于:所述的吸附柱内部充装分子筛吸附剂或多种组合吸附剂。
4.根据权利要求1所述的吸附剂对SF6气体的吸附性能评价装置,其特征在于:所述的气体浓度传感器为SF6气体浓度传感器。
5.根据权利要求1所述的吸附剂对SF6气体的吸附性能评价装置,其特征在于:所述的质量流量控制器采用高精度质量流量控制器。
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