[实用新型]制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备

权利要求书

1.一种制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：至少包括第一镀膜腔（1）和第二镀膜腔（2）、横穿第一和第二镀膜腔的用于传输太阳能电池板的传输带（3），第一和第二镀膜腔内分别设有镀膜源，当太阳能电池板依次穿过第一和第二镀膜腔时，所述镀膜源对太阳能电池板双面镀制透明导电氧化物薄膜；

所述第一镀膜腔（1）和第二镀膜腔（2）之间设有用以消除粉尘的除尘腔（12）；

所述除尘腔（12）在连接第一镀膜腔（1）和第二镀膜腔（2）处设有电动隔板，以便将第一镀膜腔、除尘腔、第二镀膜腔分割成各自独立的腔室；除尘腔内部、且位于所述传输带（3）的上方设有静电除尘器（17）。

2.如权利要求1所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述第一镀膜腔内，镀膜源位于传输带上方；所述第二镀膜腔内，镀膜源位于传输带下方。

3.如权利要求2所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述镀膜设备集成有三个或以上镀膜腔时，镀膜源位于传输带上方的镀膜腔排列在镀膜源位于传输带下方的镀膜腔前方。

4.如权利要求1所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述除尘腔（12）顶部设有下气流产生器（11），底部设有出气端口（13）。

5.如权利要求4所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述除尘腔（12）内部、且位于所述传输带（3）的下方设有粉尘迷道（14）；在除尘腔的侧壁上交错伸出多块隔板，构成曲折的粉尘迷道。

6.如权利要求5所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述除尘腔（12）的底端设有粉尘集中腔（15），所述出气端口（13）位于粉尘迷道（14）和粉尘集中腔（15）之间。

7.如权利要求6所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述除尘腔（12）的侧壁上设有检修门。

8.如权利要求3所述的制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其特征在于：所述镀膜源包括溅射镀膜源及离子镀膜源,所述溅射镀膜源（4）采用靶材磁控溅射镀膜源、直流溅射镀膜源、交流溅射镀膜源、交流脉冲溅射镀膜源、射频交流溅射镀膜源中的一种；所述离子镀膜源（5）采用反应性等离子体沉积离子镀膜源、电子束蒸镀离子镀膜源中的一种。