[实用新型]光刻胶生产加工用冷却降温装置

权利要求书

1.一种光刻胶生产加工用冷却降温装置，包括设于NAS-5反应釜外侧的冷却水套、与冷却水套进水口连接的冷却水缓存箱、与冷却水套出水口连接的循环水泵Ⅰ、连接于循环水泵Ⅰ出水口和冷却水缓存箱进水口之间并经过制冷系统冷却器的回水管线，其特征在于：还包括设于NAS-5脱水罐的尾气收集罐中的降温盘管，所述循环水泵Ⅰ和冷却水套之间连接有换热器且换热器的管程入口与冷却水套的出水口连通，换热器的管程出口与循环水泵Ⅰ的进水口连通，所述降温盘管的进水口通过管线与换热器的壳程出口连通，降温盘管的出水口通过管线连接有循环水泵Ⅱ且循环水泵Ⅱ的出水口与换热器的壳程入口连通。

2.根据权利要求1所述的光刻胶生产加工用冷却降温装置，其特征在于：所述降温盘管由垂直排布并连通的多个盘管单元组成，每个盘管单元具有旋转式盘管结构，所述旋转式盘管结构的中心线与水平面垂直，降温盘管的进水口为最下方盘管单元的自由端口，降温盘管的出水口为最上方盘管单元的自由端口。

3.根据权利要求1所述的光刻胶生产加工用冷却降温装置，其特征在于：所述降温盘管的外侧设有固定罩，所述降温盘管的进水口和出水口横向穿过固定罩和尾气收集罐后达到尾气收集罐外部，所述固定罩下端设有集气罩。

4.根据权利要求1所述的光刻胶生产加工用冷却降温装置，其特征在于：所述冷却水套内设有螺旋爬升式通水路，所述螺旋爬升式通水路的中心线与水平面垂直，螺旋爬升式通水路入口为低端且为冷却水套进水口，螺旋爬升式通水路出口为高端且为冷却水套出水口，所述螺旋爬升式通水路的横截面为三角形，长边侧贴向反应釜内壁。