[实用新型]用于弹性体应变测量的薄膜应变计

权利要求书

1.一种用于弹性体应变测量的薄膜应变计，包括弹性体、绝缘隔离层、应变敏感层以及保护层，其特征在于：所述绝缘隔离层、应变敏感层和保护层均制备于弹性体上，其中，所述绝缘隔离层制备于弹性体表面，用于薄膜应变计整体与弹性合金之间的电气绝缘；所述应变敏感层制备于所述绝缘隔离层上方，用于应变的测量；所述保护层制备于所属应变敏感层之上，并设置露出应变敏感层的引线电极。

2.根据权利要求1所述的用于弹性体应变测量的薄膜应变计，其特征在于：所述应变敏感层包括电极、过渡栅、敏感栅和横栅，所述电极用于将应变敏感层电阻值变化的电信号引出；所述电极通过过渡栅连接敏感栅，所述敏感栅用于感知应变带来电阻变化，所述敏感栅由多条细长的长条状结构构成，用于最大限度的反应纵向上应变引起的电阻变化；所述敏感栅的细长的长条状结构之间通过横栅连接，所述横栅起到连接各个敏感栅的作用从而减小应变敏感层的总体尺寸，所述横栅为短接的结构，可减小薄膜应变计的横向效应。

3.根据权利要求1所述的用于弹性体应变测量的薄膜应变计，其特征在于：所述应变敏感层的电极上焊接信号线，所述薄膜应变计所产生的电信号通过信号线传给测量电路，由测量电路进行温度补偿与放大处理。