[实用新型]晶硅铸锭加热器

权利要求书

1.一种晶硅铸锭加热器，其特征在于，包括：

顶部加热器，所述顶部加热器的中间区域厚度大、电阻小，四周边缘区域厚度小、电阻大；

侧部加热器，所述侧部加热器的中上部区域厚度大、电阻小，所述侧部加热器的下部区域厚度小、电阻大。

2.根据权利要求1所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述顶部加热器的上表面具有厚度差，所述顶部加热器的下表面为平面，所述顶部加热器的上表面的等厚线形成以所述顶部加热器的中心点为圆心的同心圆。

3.根据权利要求2所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述同心圆呈梯度分布，且自所述中间区域至所述四周边缘区域，所述梯度分布由密变疏。

4.根据权利要求2所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述顶部加热器的最外侧的等厚线为所述顶部加热器的外接圆，且相邻的所述等厚线半径差范围为100mm～260mm。

5.根据权利要求2所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述相邻等厚线之间的垂直厚度差值一致，且相邻等厚线之间厚度由外向里逐渐增加。

6.根据权利要求1所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述侧部加热器的外表面具有厚度差，所述侧部加热器的内表面为平面，所述侧部加热器的外表面的等厚线形成同心椭圆，所述同心椭圆的中心点在所述侧部加热器长度方向的中心线上，其中所述同心椭圆的长半轴差由边缘向中心逐渐增大，短半轴由下向上逐渐增大。

7.根据权利要求6所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述同心椭圆呈梯度分布，其中相邻梯度长轴差范围为50mm～600mm，短轴差范围100mm～200mm，相邻梯度厚度差范围为1mm～2mm。

8.根据权利要求1所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述侧部加热器的数量为4个，4个所述侧部加热器围成一圈，相邻侧部加热器之间通过转接板首尾相连。

9.根据权利要求8所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述转接板的等厚线呈圆弧形，自下至上，相邻等厚线的半径差逐渐增大。

10.根据权利要求1所述的晶硅铸锭加热器，其特征在于，所述顶部加热器的厚度自所述中间区域至四周边缘区域呈梯度分布，所述侧部加热器的厚度自所述下部区域向上呈梯度分布，其中所述顶部加热器与所述侧部加热器梯度阶段数一致。