[实用新型]一种多晶硅还原炉钟罩清洗设备

说明书

本实用新型公开了一种多晶硅还原炉钟罩清洗设备，涉及多晶硅生产设备技术领域，主要用于解决现有的清洗设备清洗效果差的问题。其主要结构为：包括支架平台和清洗机构，所述清洗机构包括竖直设置的内筒体和外筒体，所述内筒体与外筒体之间套设有能上下移动的筒套；所述外筒体的上端边缘设有扣置还原炉钟罩的安放座，安放座与还原炉钟罩之间、外筒体与筒套之间皆设有充气密封环；所述筒套上方设有喷头。本实用新型提供的一种多晶硅还原炉钟罩清洗设备，其能通过浸泡的方式清洁还原炉钟罩内表面，清洗效果好。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产设备技术领域，尤其涉及一种多晶硅还原炉钟罩清洗设备。

背景技术

多晶硅生产大多采用改良西门子法，用来生产半导体行业用的多晶硅。改良西门子法生产多晶硅的反应器主要为还原炉。该方法具体为：在多晶硅还原炉内安装沉积载体，并对沉积载体进行通电使其发热后，将还原炉内高纯氯硅烷和氢气的混合气体加热至1000℃以上，发生反应生成硅沉积在载体上。

还原炉是多晶硅生产的主要设备。其中，为保证多晶硅产品的品质，对还原炉钟罩内表面的洁净要求十分苛刻。如果钟罩清洗不干净、光洁度不够，会导致硅芯击不穿或者产品质量污染等问题。

目前，对于钟罩内表面的清洗，使用的大多为自动高压清洗装置——即使用高压水流(清洗液)对钟罩内表面进行冲洗，再进行烘干。然而，现如今的高压清洗装置只能清洗钟罩内表面粘附的易冲洗的污垢，对于粘附较牢固的污垢则较难清除。

因此，目前急需一种新型的能够解决上述缺陷的多晶硅还原炉钟罩清洗设备。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多晶硅还原炉钟罩清洗设备，其能通过浸泡的方式清洁还原炉钟罩内表面，清洗效果好。

为实现上述目的，本实用新型提供一种多晶硅还原炉钟罩清洗设备，包括支架平台和设置在支架平台上的清洗机构，所述清洗机构包括竖直设置的内筒体和套设在其外部的外筒体，所述内筒体与外筒体之间套设有能上下移动的筒套；所述外筒体的上端边缘设有用于扣置还原炉钟罩的安放座，所述安放座与还原炉钟罩之间、外筒体与筒套之间皆设有充气密封环；所述筒套上方设有喷头，位于两个所述充气密封环之间的外筒体侧壁上连接有排水管。

作为本实用新型的更进一步改进，所述内筒体的上端开口处设有水平的安装板，所述安装板上设有用于驱动筒套上下移动的顶起机构。

作为本实用新型的更进一步改进，所述筒套顶面设有排气口，所述安装板上设有与排气口对应且与废气回收装置连接的出气口，所述排气口通过一伸缩管与出气口连接。

作为本实用新型的更进一步改进，位于所述排水管上方的外筒体内壁上设有围绕外筒体轴心布置的用于输入氮气的氮气环管。

作为本实用新型的更进一步改进，所述筒套顶面为圆锥面，所述排气口设置在筒套顶面的轴心处。

作为本实用新型的更进一步改进，所述喷头设置在排气口上方，所述喷头下部设有能够遮挡住排气口的伞形挡板。

作为本实用新型的更进一步改进，所述顶起机构包括竖直穿过安装板且一端与筒套顶面接触的筒套顶杆、竖直穿过安装板与筒套顶面且一端与伞形挡板下部转动式连接的喷头伸缩杆；所述筒套顶杆与喷头伸缩杆的外壁皆设有外螺纹，所述安装板上设有用于驱动筒套顶杆和喷头伸缩杆升/降的顶杆控制电机和喷头伸缩控制电机。

作为本实用新型的更进一步改进，所述喷头伸缩杆为管状结构，所述喷头伸缩杆内设有穿过伞形挡板与喷头连接的水管。

作为本实用新型的更进一步改进，所述筒套的外壁上设有超声波发生器。

作为本实用新型的更进一步改进，所述内筒体与外筒体的下端连接，所述内筒体与外筒体的连接处连接有渗水排空管。

有益效果