[实用新型]基于分时多光谱图像的微观3D形貌测量装置

权利要求书

1.一种基于分时多光谱图像的微观3D形貌测量装置，其特征在于：包括复色光照明模块、纵向色散增强型光学成像模块，

所述复色光照明模块按照光路传播方向依次设置有：复色光源(1)、聚光镜(2)、滤光轮(3)、均匀准直光透镜组(4)、半反半透分光镜(5)、带纵向色散的物镜(6)；

所述纵向色散增强型光学成像模块按照光路传播方向依次设置有：纵向高度可调节样品台(7)、带纵向色散的物镜(6)、半反半透分光镜(5)、带纵向色散的管镜(8)、图像传感器(9)、图像显示与分析模块(10)；

所述纵向色散增强型光学成像模块对于不同波段光信号具有不同的焦距或者像距；

所述复色光照明模块与纵向色散增强型光学成像模块共用所述半反半透分光镜(5)和带纵向色散的物镜(6)；

所述滤光轮(3)装有N片窄带滤光片，波段中心波长分别为λ₁，λ₂，…，λ_n，可将进入纵向色散增强型光学成像模块的复色光源进行分色，形成不同光谱波段的单色光源；

所述图像传感器(9)用于分时采集N个不同中心波长光谱波段下的样品灰度图像I_n(x,y)，其中，N≥2，0≤x≤X，0≤y≤Y，1≤n≤N，X为光谱灰度图像总行数，Y为光谱灰度图像总列数。

2.根据权利要求1所述的基于分时多光谱图像的微观3D形貌测量装置，其特征在于：所述纵向色散增强型光学成像模块包括至少一个带纵向色散的物镜(6)，或者包括至少一个带纵向色散的管镜(8)。

3.根据权利要求1所述的基于分时多光谱图像的微观3D形貌测量装置，其特征在于：所述纵向色散增强型光学成像模块需消除横向色散。