[实用新型]具有伸缩式滑轨的离子镀过渡舱有效
申请号: | 201922041293.9 | 申请日: | 2019-11-24 |
公开(公告)号: | CN211367780U | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 张奕志;凌国平;王宏涛 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00;C25D19/00 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人: | 徐关寿 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 伸缩 滑轨 离子镀 过渡 | ||
1.一种具有伸缩式滑轨的离子镀过渡舱,包括两个或多个密封箱体、过渡舱、充气装置和真空泵,其特征在于:过渡舱位于两个相邻的密封箱体之间,过渡舱与密封箱体密封固定连接,过渡舱设置有过渡舱门、伸缩式滑轨,过渡舱与补气装置和真空泵通过管道连接,伸缩式滑轨位于过渡舱内,伸缩式滑轨朝两侧密封箱体做水平方向的伸缩式移动。
2.如权利要求1所述的具有伸缩式滑轨的离子镀过渡舱,其特征在于:所述的过渡舱由骨架、顶板、底板和侧板组成的长方体结构,顶板、底板和侧板固定连接于骨架上,顶板、底板和侧板之间相互密封连接。
3.如权利要求1所述的具有伸缩式滑轨的离子镀过渡舱,其特征在于:所述的补气装置、真空泵和通气管道安装于过渡舱的顶板上,补气装置和真空泵通过管道密封连接,通气管道与过渡舱进行气体的交换和流通。
4.如权利要求1所述的具有伸缩式滑轨的离子镀过渡舱,其特征在于:所述的伸缩式滑轨固定于过渡舱的底面和侧面,伸缩式滑轨为多级阶梯式滑轨,阶梯式滑轨能够向左侧和右侧延伸。
5.如权利要求4所述的具有伸缩式滑轨的离子镀过渡舱,其特征在于:所述的阶梯式滑轨由电动机、滑轮、滑轨和载物台组成,所述的滑轨为阶梯式多级滑轨,第一级滑轨固定于过渡舱的底面和侧面,第二级滑轨第三级滑轨通过滑轮移动连接,电动机固定于第一级滑轨上,电动机带动滑轮并带动滑轨一起移动。
6.如权利要求1所述的具有伸缩式滑轨的离子镀过渡舱,其特征在于:所述的伸缩式滑轨和电动舱门均由控制器进行控制。
7.如权利要求1所述的具有伸缩式滑轨的离子镀过渡舱,其特征在于:工件容器装载有电镀工件,工件容器通过行车在水平方向上移动和竖直方向上移动,并放置到伸缩式滑轨的平台上。
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