[实用新型]水平式湿制程设备的药液供给系统

权利要求书

1.一种水平式湿制程设备的药液供给系统，其特征在于，包括主设备单元及药液添加单元；该主设备单元包括横向依序并排的多个槽室，该药液添加单元包括多组由药液添加槽、计量杯及液位浮球组件所形成的计量结构；该药液添加槽安装于该槽室上，该计量杯所在位置低于该药液添加槽内药液最低高度；该计量杯内设有可调高度的活塞，且于该活塞下方形成计量空间，该计量杯外另设有供液管及输液管与该计量空间相连通，该供液管连接于该药液添加槽与该计量杯之间；该输液管连接于该计量杯与该槽室的设备槽之间；该液位浮球组件安装于该计量杯上且与该计量空间内连通。

2.根据权利要求1所述的水平式湿制程设备的药液供给系统，其特征在于，该计量杯内设有螺杆，该活塞并固接于该螺杆，另外在该计量杯外另设有扳动螺帽与该螺杆相结合，当该扳动螺帽被拨动时，该螺杆和该活塞会产生同步的上升或下降。

3.根据权利要求2所述的水平式湿制程设备的药液供给系统，其特征在于，该液位浮球组件包括液位检知舱及所安装的液位浮球开关，该螺杆中心具有贯穿的连通孔，该液位检知舱安装于该计量杯上且与该螺杆相连接，且经由该连通孔连通该液位检知舱内与该计量空间。

4.根据权利要求3所述的水平式湿制程设备的药液供给系统，其特征在于，该液位检知舱顶部另连接一透气管，该透气管连通该液位检知舱与该药液添加槽。

5.根据权利要求1所述的水平式湿制程设备的药液供给系统，其特征在于，该供液管安装着第一控制阀，控制管的连通或中断。

6.根据权利要求1所述的水平式湿制程设备的药液供给系统，其特征在于，该输液管安装着第二控制阀，控制管的连通或中断。

7.根据权利要求1所述的水平式湿制程设备的药液供给系统，其特征在于，该计量杯顶部另设有纯水注入口，该纯水注入口设有可锁固密封的塞子。

8.根据权利要求1所述的水平式湿制程设备的药液供给系统，其特征在于，该计量杯为透明管且表面设有刻度牌。