[实用新型]一种气浮式快刀伺服系统

权利要求书

1.一种气浮式快刀伺服系统，包括壳体，设置在所述壳体中的包括动子部分，气浮轴承部分电机及水冷部分，其特征在于：

所述动子部分包括T形导轨，所述T形导轨包括竖直设置的竖直导轨(1)和水平设置的水平导轨(16)，所述T形导轨的外侧设置有气浮轴承部分，所述气浮轴承部分后端设有电机定子(21)、为电机定子(21)提供冷却功能的水冷外套(13)；

所述气浮轴承部分包括设置在所述竖直导轨(1)左右两侧的竖直轴承(20)，设置在所述水平导轨(16)上方的上水平轴承(19)和设置在所述水平导轨(16)下方的下水平轴承(18)。

2.根据权利要求1所述的一种气浮式快刀伺服系统，其特征在于：所述下水平轴承(18)、上水平轴承(19)、竖直轴承(20)上均设置多个节流孔，所述节流孔上方均加工有树状均压槽，槽宽0.12～0.18mm，槽深20～25um。

3.根据权利要求2所述的一种气浮式快刀伺服系统，其特征在于：所述下水平轴承(18)、上水平轴承(19)、竖直轴承(20)气源均由与之连接的前盖板(17)提供，前盖板(17)内设有气路，将一路气源由前盖板(17)均分为6路输送至下水平轴承(18)、上水平轴承(19)、竖直轴承(20)。

4.根据权利要求1所述的一种气浮式快刀伺服系统，其特征在于：所述下水平轴承(18)、上水平轴承(19)、竖直轴承(20)基体材料为6061铝合金，且所述6061铝合金表面喷涂有厚度0.5～1mmMoSi2涂层。

5.根据权利要求1所述的一种气浮式快刀伺服系统，其特征在于：所述动子部分包括设置在水冷外套(13)内的动子，设置在所述动子外的线圈(8)，所述线圈(8)连接所述T形导轨，所述竖直导轨(1)上安装有光栅尺(3)。

6.根据权利要求5所述的一种气浮式快刀伺服系统，其特征在于：所述线圈(8)和所述T形导轨之间还设置有隔热板(14)。

7.根据权利要求1所述的一种气浮式快刀伺服系统，其特征在于：所述水冷外套(13)的后方设置有后盖板(10)，所述后盖板(10)上设置有多个碟形弹簧(11)，所述后盖板(10)上还设置有贯穿电机定子的后限位推杆，所述后盖板(10)、碟形弹簧(11)及后限位推杆(12)共同构成所述动子部分的后限位。

8.根据权利要求1所述的一种气浮式快刀伺服系统，其特征在于：所述T形导轨和气浮装置外设置有外壳(2)和底板(15)；所述外壳(2)上设置有读数头支架(6)，所述读数头支架上设置有读数头(5)，所述读数头支架(6)外设置有读数头防尘板(4)。

9.根据权利要求8所述的一种气浮式快刀伺服系统，其特征在于：所述外壳(2)上设置有两个朝向所述动子的防撞块(22)。

10.根据权利要求1所述的一种气浮式快刀伺服系统，其特征在于：所述水冷外套(13)上还设置有电气接口(7)。

11.根据权利要求1所述的一种气浮式快刀伺服系统，其特征在于：所述电机定子(21)及水冷外套(13)之间设置有水冷槽，所述水冷槽为电机定子(21)提供冷却。

12.根据权利要求1所述的一种气浮式快刀伺服系统，其特征在于：所述竖直导轨(1)上方设置有安放光栅尺(3)的凹槽，所述光栅尺(3)用粘接的方式固定在竖直导轨(1)上，所述竖直导轨(1)上设置有多个第一减重孔(101)。

13.根据权利要求1所述的一种气浮式快刀伺服系统，其特征在于：所述水平导轨(16)与竖直导轨(1)连接方式为螺钉连接，所述水平导轨(16)上设置有多个第二减重孔(1601)。