[实用新型]一种一体式平面台

说明书

本实用新型公开了一种一体式平面台，所述平面台包括基板，所述基板上方设有上层板、下方设有下层板，所述上层板相对于所述基板做X向直线运动，所述基板相对于所述下层板做Y向直线运动；所述基板上侧面的两个相对端部均延伸设有上挡板，所述基板上侧面中间处延伸设置有上固定板；所述上层板的下侧面延伸设有与所述上挡板相对应的第一挡板，所述上挡板与所述第一挡板之间安装有上导轨。本实用新型采用三片一体式的结构，即上层板、基板、下层板三片安装成一体，压缩了整体装置的高度，降低了高度差，使其适用于多种高度较低的场合，并且，运动方向与测量方向在同一平面上，保证运动精度准确。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备领域，具体是一种一体式平面台。

背景技术

在半导体加工行业中，平面工作台是不可或缺的工作平台，为了使平面工作台能够满足二维平面上各个加工流程的需要，所以就要求平面工作台的体积较小，并且高度差较小，适用于各个空间高度的场合。目前使用的平面台体积较大，结构不紧凑，不能很好的适应各种场合。

实用新型内容

为解决上述现有技术的缺陷，本实用新型提供一种一体式平面台，本实用新型采用三片一体式的结构，即上层板、基板、下层板三片安装成一体，压缩了整体装置的高度，降低了高度差，使其适用于多种高度较低的场合，并且，运动方向与测量方向在同一平面上，保证运动精度准确。

为实现上述技术目的，本实用新型采用如下技术方案：一种一体式平面台，所述平面台包括基板，所述基板上方设有上层板、下方设有下层板，所述上层板相对于所述基板做X向直线运动，所述基板相对于所述下层板做Y向直线运动；

所述基板上侧面的两个相对端部均延伸设有上挡板，所述基板上侧面中间处延伸设置有上固定板；所述上层板的下侧面延伸设有与所述上挡板相对应的第一挡板，所述上挡板与所述第一挡板之间安装有上导轨；所述上层板的下侧面中间延伸设有第一固定板，所述第一固定板的侧面上安装上光栅尺，所述上光栅尺匹配有上读数头，所述上读数头安装在所述上固定板上；所述上层板与所述基板之间设有两个上电机，两个所述上电机分别位于所述上固定板的两侧，所述上层板在所述上电机的带动下相对于所述基板做X向直线运动；

所述基板下侧面的两个相对端部均延伸设置有下挡板，所述下挡板与所述上挡板相互垂直设置，所述基板下侧面中间延伸设有下固定板；所述下层板的上侧面延伸设有与所述下挡板相对应的第二挡板，所述第二挡板与所述下挡板之间安装有下导轨；所述下层板的上侧面中间延伸设有第二固定板，所述第二固定板上固定有下读数头，所述下读数头匹配有下光栅尺，所述下光栅尺固定在所述下固定板的侧面；所述下层板与所述基板之间设有两个下电机，两个所述下电机分别位于所述下固定板的两侧，所述基板在所述下电机的带动下相对于所述下层板做Y向直线运动。

进一步地，所述上挡板与所述上固定板相互平行设置。

进一步地，所述下挡板与所述下固定板相互平行设置。

进一步地，所述上导轨有2个。

进一步地，所述下导轨有2个。

进一步地，所述上电机、所述下电机均采用直线电机。

进一步地，所述上导轨、下导轨均采用交叉滚柱导轨。

进一步地，所述基板一侧设有接线盒。

综上所述，本实用新型取得了以下技术效果：

1、本实用新型将平面台设置成三片一体式结构，将上层板、基板、下层板分别作为上、中、下三层，使得结构紧凑，高度较小，适应性强；

2、本实用新型在基板与上层板之间设置X方向上的导轨和直线电机，让上层板做X方向上的直线运动；在基板与下层板之间设置Y方向上的导轨和直线电机，让基板做Y方向上的直线运动，实现平面台的二维平面运动；