[实用新型]一种中空平面台

说明书

本实用新型公开了一种中空平面台，包括底板，所述底板上方滑动连接有X向板块，所述X向板块上方滑动连接有Y向板块，所述X向板块相对于所述底板做X方向直线运动，所述Y向板块相对于所述X向板块做Y方向直线运动；所述底板、所述X向板块、所述Y向板块中心处开有上下贯通的通孔。本实用新型将内部设置为中空结构，不仅降低了整体的重量，还能将额外部件安装在中空结构内，减小了占用面积，减小平面台受到的负载，本实用新型结构紧凑，体积小，使用方便。

技术领域

本实用新型涉及半导体工作平台，具体是一种中空平面台。

背景技术

在半导体加工行业中，平面台是不可或缺的设备，目前使用的平面台一般是整个平面，而在一些特殊的场合下，需要将某一些部件设备与平面台组装在一起，如果直接将平面台和额外部件固定在一起，不仅增大了占用面积，还增加了平面台额外的负载，长久下来会磨损平面台，缩短平面台的使用寿命。

实用新型内容

为解决上述现有技术的缺陷，本实用新型提供一种中空平面台，本实用新型将内部设置为中空结构，不仅降低了整体的重量，还能将额外部件安装在中空结构内，减小了占用面积，减小平面台受到的负载，本实用新型结构紧凑，体积小，使用方便。

为实现上述技术目的，本实用新型采用如下技术方案：一种中空平面台，包括底板，所述底板上方滑动连接有X向板块，所述X向板块上方滑动连接有Y向板块，所述X向板块相对于所述底板做X方向直线运动，所述Y向板块相对于所述X向板块做Y方向直线运动；

所述底板包括底层平面板和凸板，所述凸板沿着所述X方向延伸；所述X向板块包括中层板，所述中层板的下端设有向下延伸的第一板，所述第一板沿着所述X方向延伸，所述第一板中心处开有凹槽，所述凸板嵌入在所述凹槽内，所述凸板外侧壁与所述第一板内侧壁之间安装有X向导轨；所述凸板内开设有第一槽道，所述第一槽道内固定有X向光栅尺，所述第一板下侧面固定有X向读数头，所述X向读数头与所述X向光栅尺相互配合，所述X向读数头位于所述槽道内；所述底层平面板与所述中层板之间安装有X向电机；

所述X向板块的上侧面设有第二板，所述第二板沿着所述Y方向延伸；所述Y向板块的下侧面延伸设有第三板，所述第三板中心处开有凹槽，所述第二板嵌入在所述凹槽内，所述第二板外侧壁与所述第三板内侧壁之间安装有Y向导轨；所述第二板内开有第二槽道，所述第二槽道内固定有Y向光栅尺，所述Y向板块的下侧面固定有Y向读数头，所述Y向读数头与所述Y向光栅尺相互配合，所述Y向读数头位于所述第二槽道内；所述X向板块与所述Y 向板块之间安装有Y向电机；

所述底板、所述X向板块、所述Y向板块中心处开有上下贯通的通孔。

进一步地，所述中层板内部开有槽孔，所述槽孔上设有第一盖板；所述X向电机通过螺栓固定在所述中层板上，所述螺栓位于所述槽孔内。

进一步地，所述X向导轨、所述Y向导轨均采用交叉滚柱导轨。

进一步地，所述X向电机设置2个，所述X向电机采用直线电机。

进一步地，所述Y向电机设置2个，所述X向电机采用直线电机。

进一步地，所述底板一侧固定有第一固定板，所述Y向板块一侧固定有第二固定板，所述X向板块一侧固定有第三固定板；所述第一固定板、所述第二固定板、所述第三固定板之间设有线缆。

综上所述，本实用新型取得了以下技术效果：

1、本实用新型将整体装置设置成三层，相邻两层之间分别实现X方向和Y方向的运动，既缩短了整体的高度，也降低了整体的重量；

2、本实用新型设置直线电机以及相互配合的交叉滚柱导轨，保证X方向、Y方向的直线运动，设置两组光栅尺实现信号反馈，保证本实用新型的运动精度；