[实用新型]一种改进防尘功能的纳升离子源外罩

说明书

本实用新型涉及一种改进防尘功能的纳升离子源外罩，包括供气管、进样室、放电管、线圈和引出电极，所述供气管上设有防尘机构，所述防尘机构包括净化室、进气管、高压泵、注射组件和排水管，该改进防尘功能的纳升离子源外罩，通过防尘机构对通入的空气进行过滤，以免灰尘干扰离子传输，提高了实用性。

技术领域

本实用新型涉及质谱仪领域，特别涉及一种改进防尘功能的纳升离子源外罩。

背景技术

离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。

现有的离子源一旦有灰尘进入，由于其结构较为细小，会难以清理，而灰尘又会干扰离子传输从而影响仪器的测量结果，降低了实用性。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种改进防尘功能的纳升离子源外罩。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种改进防尘功能的纳升离子源外罩，包括供气管、进样室、放电管、线圈和引出电极，所述进样室与放电管的一端连通，所述线圈固定在放电管的外周上，所述供气管与进样室连通，所述引出电极位于放电管的另一端，所述供气管上设有防尘机构；

所述防尘机构包括净化室、进气管、高压泵、注射组件和排水管，所述净化室固定在供气管的远离进样室的一端，所述供气管通过高压泵与净化室连通，所述进气管与净化室内的底部连通，所述注射组件位于净化室的上方，所述排水管与净化室的下方连通，所述排水管的与净化室的连通处设有第一阀门。

作为优选，为了向净化室内添加清洗剂，所述注射组件包括盛液瓶和密封盖，所述盛液瓶与净化室的上方连通，所述盛液瓶的与净化室的连通处设有第二阀门，所述盛液瓶的上方设有开口，所述密封盖盖设在开口上。

作为优选，为了实现灭菌的功能，所述净化室内设有紫外灯。

作为优选，为了检测清洗剂的剩余量，所述净化室内的顶部设有液位传感器。

作为优选，为了便于进气，所述进气管内设有风机。

作为优选，为了减少离子在金属表面的复合，所述引出电极外包有石英。

本实用新型的有益效果是，该改进防尘功能的纳升离子源外罩，通过防尘机构对通入的空气进行过滤，以免灰尘干扰离子传输，与现有的防尘机构相比，该防尘机构结构简单，设计巧妙，提高了实用性。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的改进防尘功能的纳升离子源外罩的结构示意图；

图2是本实用新型的改进防尘功能的纳升离子源外罩的防尘机构的结构示意图；

图中：1.供气管，2.进样室，3.放电管，4.线圈，5.引出电极，6.净化室， 7.进气管，8.高压泵，9.排水管，10.盛液瓶，11.密封盖，12.紫外灯，13.液位传感器，14.风机。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1所示，一种改进防尘功能的纳升离子源外罩，包括供气管1、进样室 2、放电管3、线圈4和引出电极5，所述进样室2与放电管3的一端连通，所述线圈4固定在放电管3的外周上，所述供气管1与进样室2连通，所述引出电极5位于放电管3的另一端，所述供气管1上设有防尘机构；