[实用新型]一种老化板测试设备有效

专利信息
申请号: 201922061600.X 申请日: 2019-11-26
公开(公告)号: CN211374829U 公开(公告)日: 2020-08-28
发明(设计)人: 沈杰;黄亮亮 申请(专利权)人: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04;G01R31/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 老化 测试 设备
【权利要求书】:

1.一种老化板测试设备,其特征在于:所述老化板测试设备包括,

第一连接部(20),通过XY平台安装于基座(30);

载物部(40),旋转连接于第一连接部(20);所述载物部(40)安装有测试部(50),所述测试部(50)用于电连接放置在载物部(40)上的老化板;

测试机(60),有线电连接于测试部(50);

所述第一连接部(20)连接有第二连接部(70),所述测试机(60)安装于所述第二连接部(70)上。

2.根据权利要求1所述的老化板测试设备,其特征在于:所述载物部(40)设置有真空吸附孔,用于将老化板固定在载物部(40)上。

3.根据权利要求2所述的老化板测试设备,其特征在于:所述载物部(40)设置有多个定位柱(41)。

4.根据权利要求1所述的老化板测试设备,其特征在于:所述老化板测试设备还包括积分球(80),所述积分球(80)通过支架(81)连接于基座(30)。

5.根据权利要求4所述的老化板测试设备,其特征在于:所述积分球(80)收光口沿竖直方向正对应老化板。

6.根据权利要求1所述的老化板测试设备,其特征在于:所述第二连接部(70)设置有多个限位部(71),所述多个限位部(71)将测试机(60)位置限定。

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