[实用新型]一种老化板测试设备有效
申请号: | 201922061600.X | 申请日: | 2019-11-26 |
公开(公告)号: | CN211374829U | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 沈杰;黄亮亮 | 申请(专利权)人: | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R31/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 老化 测试 设备 | ||
1.一种老化板测试设备,其特征在于:所述老化板测试设备包括,
第一连接部(20),通过XY平台安装于基座(30);
载物部(40),旋转连接于第一连接部(20);所述载物部(40)安装有测试部(50),所述测试部(50)用于电连接放置在载物部(40)上的老化板;
测试机(60),有线电连接于测试部(50);
所述第一连接部(20)连接有第二连接部(70),所述测试机(60)安装于所述第二连接部(70)上。
2.根据权利要求1所述的老化板测试设备,其特征在于:所述载物部(40)设置有真空吸附孔,用于将老化板固定在载物部(40)上。
3.根据权利要求2所述的老化板测试设备,其特征在于:所述载物部(40)设置有多个定位柱(41)。
4.根据权利要求1所述的老化板测试设备,其特征在于:所述老化板测试设备还包括积分球(80),所述积分球(80)通过支架(81)连接于基座(30)。
5.根据权利要求4所述的老化板测试设备,其特征在于:所述积分球(80)收光口沿竖直方向正对应老化板。
6.根据权利要求1所述的老化板测试设备,其特征在于:所述第二连接部(70)设置有多个限位部(71),所述多个限位部(71)将测试机(60)位置限定。
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