[实用新型]加热炉体和半导体设备

权利要求书

1.一种加热炉体，其特征在于，包括：

环形保温体；

环绕设置在所述环形保温体周围的炉壳；

设置在所述环形保温体和所述炉壳之间的缓冲层；以及

相互独立的多个加热结构，沿所述环形保温体的轴向依次设置在所述环形保温体的内侧；并且，有至少一个所述加热结构包括多个加热分部，且与所述环形保温体的周向上划分的多个分区一一对应，其中至少两个所述加热分部在同一时间辐射出的热量不同。

2.根据权利要求1所述的加热炉体，其特征在于，所述分区为四个，且两两相对，并且相对的两个所述分区中的所述加热分部在同一时间辐射出的热量相同，而相邻的两个所述分区中的所述加热分部在同一时间辐射出的热量不同。

3.根据权利要求1或2所述的加热炉体，其特征在于，所述加热结构为加热丝，所述加热丝在其中至少两个所述分区中的分布密度和/或直径不同。

4.根据权利要求3所述的加热炉体，其特征在于，所述加热丝由沿所述环形保温体的周向弯曲缠绕的线体绕制而成，并且所述线体的至少一部分为螺旋弹簧状线体。

5.根据权利要求4所述的加热炉体，其特征在于，所述线体包括多个第一线段和多个第二线段，其中，每个所述第一线段为所述螺旋弹簧状线体，且沿所述环形保温体的轴向设置；多个所述第一线段沿所述环形保温体的周向间隔设置；

各个所述第二线段用于分别将各个相邻的两个所述第一线段的首尾两端串接。

6.根据权利要求1所述的加热炉体，其特征在于，所述环形保温体为采用硬质材料制作的刚性保温体。

7.根据权利要求1所述的加热炉体，其特征在于，所述环形保温体包括多个环形分体，且沿轴向依次连接形成连续的环体；各个所述加热结构一一对应地设置在各个所述环形分体的内侧。

8.根据权利要求7所述的加热炉体，其特征在于，所述环形保温体的内部空间在其轴向上划分为主加热区和位于所述主加热区两侧的炉口加热区和炉尾加热区，其中，

至少两个所述环形分体对应所述主加热区；

至少一个所述环形分体对应所述炉口加热区；

至少一个所述环形分体对应所述炉尾加热区。

9.根据权利要求7所述的加热炉体，其特征在于，各个相邻的两个所述环形分体之间设置有配合结构，用于限定相邻的两个所述环形分体的相对位置。

10.根据权利要求9所述的加热炉体，其特征在于，所述配合结构包括分别设置在相邻的两个所述环形分体之间的凹部和凸部。

11.根据权利要求1所述的加热炉体，其特征在于，所述加热炉体还包括多个引出结构，各个所述引出结构设置在所述环形保温体的外侧，且与各个所述加热结构一一对应地设置，并且每个所述引出结构包括结构相同的两套引线组件，两套所述引线组件分别用于引入和引出对应的所述加热结构的两条接线。

12.根据权利要求11所述的加热炉体，其特征在于，所述加热炉体还包括保护罩，所述保护罩环绕设置在各个所述引出结构的外侧。

13.一种半导体设备，包括工艺腔、加热炉体和石墨舟，其特征在于，所述加热炉体采用权利要求1-12任意一项所述的加热炉体。

14.根据权利要求13所述的半导体设备，其特征在于，所述加热炉体为卧式，且所述石墨舟中的多片石墨片沿所述加热炉体的一条直径方向间隔设置；

所述分区为四个，且两两相对，其中相对的两个所述分区分别正对最外侧的两片所述石墨片；其余相对的两个所述分区分别正对中间的石墨片的两侧边缘；并且，正对最外侧的两片所述石墨片的两个所述分区中的所述加热分部在同一时间辐射出的热量，小于正对中间的石墨片的两侧边缘的两个所述分区中的所述加热分部在同一时间辐射出的热量。