[实用新型]排气结构和单晶炉

权利要求书

1.一种排气结构，其特征在于，包括：

排气管道，所述排气管道包括波纹管、沉降管和延伸管，所述沉降管的一端连接于所述波纹管，另一端连接于所述延伸管，所述波纹管连接于炉体；

振动部，所述振动部包括振动电机，所述振动电机贴附于所述沉降管的表面，用于使所述沉降管振动。

2.根据权利要求1所述的排气结构，其特征在于，

所述沉降管的一侧设有收集盒，所述沉降管与所述收集盒之间具有通孔和过滤层，所述过滤层覆盖在所述通孔上。

3.根据权利要求2所述的排气结构，其特征在于，还包括：

底座，所述底座弹性连接于所述收集盒的一侧。

4.根据权利要求3所述的排气结构，其特征在于，

所述收集盒可拆卸连接于所述沉降管。

5.根据权利要求1至4任一项所述的排气结构，其特征在于，

所述振动电机包括壳体、驱动组件和振动组件，所述驱动组件和所述振动组件设置在所述壳体内，所述驱动组件连接于所述振动组件，用于带动所述振动组件转动。

6.根据权利要求1至4任一项所述的排气结构，其特征在于，

所述振动电机为三相异步振动电机。

7.一种单晶炉，其特征在于，包括：

炉体和权利要求1至6任一项所述的排气结构，所述炉体连接于所述排气结构的所述波纹管。