[实用新型]一种载物台及探针台有效
| 申请号： | 201922064690.8 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN211374831U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 杨应俊;沈杰 | 申请（专利权）人： | 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 载物台 探针 | ||
1.一种载物台，其特征在于：所述载物台（100）包括，
竖直运动连接于第一连接部（20）的放片部（30）；
第一连接部（20）旋转连接于第二连接部（40）；
所述第一连接部（20）相对于第二连接部（40）旋转的旋转轴沿竖直方向。
2.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：
所述放片部（30）通过沿竖直方向的滑轨连接于第一连接部（20）；
所述放片部（30）与第一连接部（20）之间连接有丝杆螺母结构，所述丝杆螺母结构沿竖直方向延伸。
3.根据权利要求2所述的载物台，其特征在于：
丝杆螺母结构中的丝杆连接于放片部（30），丝杆螺母结构中的螺母连接有第一驱动部（31），所述第一驱动部（31）带动螺母旋转从而使丝杆沿竖直方向的运动。
4.根据权利要求3所述的载物台，其特征在于：
所述第一驱动部（31）安装于第一连接部（20）。
5.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：
所述载物台（100）包括第二驱动部（41），所述第二驱动部（41）用于带动第一连接部（20）相对于第二连接部（40）旋转。
6.根据权利要求5所述的载物台，其特征在于：
所述第二驱动部（41）安装于第二连接部（40），所述第二驱动部（41）通过皮带轮（42）带动第一连接部（20）旋转。
7.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于：
所述放片部（30）水平设置。
8.一种探针台，其特征在于：所述探针台包括权利要求1-7任意一项所述的载物台（100）。
9.根据权利要求8所述的探针台，其特征在于：所述载物台（100）通过XY运动平台连接于基座。
10.根据权利要求9所述的探针台，其特征在于：所述载物台（100）的第二连接部（40）通过XY运动平台连接于基座。
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