[实用新型]一种尾气洗涤设备

说明书

本实用新型公开了一种尾气洗涤设备，包括气体洗涤塔和排出装置；所述气体洗涤塔包括喷淋清洗仓和吸收过滤仓，所述喷淋清洗仓与吸收过滤仓竖向并列设计，且二者之间设有隔板；所述隔板上部设有气体通孔，下部设有洗涤液通孔；所述喷淋清洗仓的下部设有与尾气管道相连的洗涤塔气体进口，所述吸收过滤仓的下部设有洗涤塔气体出口；所述喷淋清洗仓内设有多个向上的喷头，所述吸收过滤仓内填充填料，充分利用洗涤塔的空间，加长气体洗涤和过滤的路程，充分净化尾气。并且，本实用新型还设有洗涤控制器，配合监控警报器对气体洗涤有效的控制，把关净化后的气体质量，具有尾气洗涤效果好，便于控制，操作方便等优点。

技术领域

本实用新型涉及一种尾气洗涤设备。

背景技术

在集成电路、太阳能、LED、光纤等生产中，有很多设备要用到HCl、SiH₂Cl₂、SiHCl₃、SiCl₄、Cl₂等腐蚀性或毒性气体及相关的化学试剂来进行生产，这些化学试剂大多在生产工艺过程中参与了化学反应。但还是有少量没有完全反应的残留尾气或在生产过程中产生一些含有毒有害气体的尾气。由于含有毒有害的气体成分，这些尾气不能直接排放到大气环境中，因此需要配置洗涤塔来清除尾气中的有毒有害的残留气体。

实用新型内容

针对上述存在的问题，本实用新型提供一种尾气洗涤塔，通过喷淋清洗和吸收过滤，使排出的尾气符合排放标准。具体技术方案如下：

一种尾气洗涤设备，包括气体洗涤塔和排出装置；所述气体洗涤塔包括喷淋清洗仓和吸收过滤仓，所述喷淋清洗仓与吸收过滤仓竖向并列设计，且二者之间设有隔板；所述隔板上部设有气体通孔，下部设有洗涤液通孔；所述喷淋清洗仓的下部设有与尾气管道相连的洗涤塔气体进口，所述吸收过滤仓的下部设有洗涤塔气体出口；所述喷淋清洗仓内设有多个向上的喷头，所述吸收过滤仓内填充填料。

前述的尾气洗涤设备，所述排出装置包括负压产生器、排风管道和风机，所述负压产生器与气体洗涤塔的洗涤塔气体出口相连，所述排风管道设置在负压产生器的上端，所述风机设置在负压产生器的下端以配合负压产生器将气体洗涤塔的尾气抽出并通过排风管道排出。

前述的尾气洗涤设备，所述喷淋清洗仓中下部设有横隔，所述横隔上设有气体上行孔，所述气体上行孔的上方设有向下的喷头。

前述的尾气洗涤设备，所述吸收过滤仓内的填料下部设有底板，上部设有盖板；所述盖板上设有多个气体过滤孔，所述底板的周边设有多个气体下行孔；所述底板中央设有中央排气孔，所述中央排气孔通过排出管道与洗涤塔气体出口相连将洗涤后的尾气排入排出装置。

前述的尾气洗涤设备，所述气体洗涤塔的底部还设有循环泵，将气体洗涤塔内的洗涤液泵入喷雾管道以循环利用。

优选的，前述的尾气洗涤设备，所述尾气管道为透明的PVC管道或PP管道。

前述的尾气洗涤设备，还包括洗涤塔控制系统，该洗涤塔控制系统包括可独立运行的洗涤控制器和若干监控警报器；所述洗涤控制器主要配置有变频器、触摸屏、PLC控制器、模拟量模块、开关量模块、动作继电器和电源；所述触摸屏设在洗涤控制器的操作面板上，其可执行气体洗涤塔各项参数的设定修改及显示记录和查询数据；所述PLC控制器用于控制气体洗涤塔的运行并记录相关数据，同时用于接收监控警报器的监测数据及执行警报。

前述的尾气洗涤设备，所述监控警报器包括设置在气体洗涤塔底部的高液位传感器、低液位传感器及漏水监控器；设置在气体洗涤塔上部的负压计和设置在洗涤塔气体出口附近的气体侦测传感器。

前述的尾气洗涤设备，所述洗涤控制器的操作面板上还设有信号灯组、操作按钮组、风机控制板和警报蜂鸣器。

本实用新型的有益效果是：