[实用新型]单晶炉用进料阀门控制装置及系统有效

专利信息
申请号: 201922065995.0 申请日: 2019-11-26
公开(公告)号: CN210895104U 公开(公告)日: 2020-06-30
发明(设计)人: 黄鸣 申请(专利权)人: 北京北方华创真空技术有限公司
主分类号: G05B19/05 分类号: G05B19/05
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 王宇杨
地址: 100015 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 单晶炉用 进料 阀门 控制 装置 系统
【权利要求书】:

1.一种单晶炉用进料阀门控制装置,其特征在于,包括第一控制单元、第二控制单元和进料阀门回路,其中:

所述第一控制单元,用于接收外部控制设备的控制信号,根据所述控制信号使第二控制单元执行触发动作;

所述第二控制单元,用于在执行触发动作后进入工作状态,使进料阀门回路中的阀门开启或关闭;所述工作状态包括使阀门开启或使阀门关闭;

在外部控制设备停止向第一控制单元输出控制信号时,所述第二控制单元保持当前的工作状态。

2.根据权利要求1所述的单晶炉用进料阀门控制装置,其特征在于,所述第一控制单元和所述第二控制单元采用继电器。

3.根据权利要求2所述的单晶炉用进料阀门控制装置,其特征在于,所述第一控制单元包括第一继电器和第二继电器,其中:

所述第一继电器,用于接收外部控制设备的控制信号,根据所述控制信号使第二控制单元执行触发动作后进入工作状态,使进料阀门回路中的阀门开启;

所述第二继电器,用于接收外部控制设备的控制信号,根据所述控制信号使第二控制单元执行触发动作后进入工作状态,使进料阀门回路中的阀门关闭。

4.根据权利要求3所述的单晶炉用进料阀门控制装置,其特征在于,第一继电器的公共端接电源正端,第一继电器的常开触点接第二继电器的公共端,第二继电器的常闭触点接电源负端;

第三继电器的公共端接电源正端,第三继电器的常开触点接第二继电器的公共端;

第三继电器的常开触点接阀门的一端,阀门的另一端接电源负端;

第一继电器的公共端接外部控制设备的第一信号输出端,第一继电器的常开触点接电源负端;

第二继电器的公共接外部控制设备的第一信号输出端,第二继电器的常开触点接电源负端;

其中,第三继电器为第二控制单元。

5.一种单晶炉用进料阀门控制系统,其特征在于,包括外部控制设备和上述权利要求1-4中任一项所述的单晶炉用进料阀门控制装置。

6.根据权利要求5所述的单晶炉用进料阀门控制系统,其特征在于,所述外部控制设备包括PLC控制器或上位机。

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