[实用新型]单晶炉用进料阀门控制装置及系统有效
申请号: | 201922065995.0 | 申请日: | 2019-11-26 |
公开(公告)号: | CN210895104U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 黄鸣 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
主分类号: | G05B19/05 | 分类号: | G05B19/05 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王宇杨 |
地址: | 100015 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉用 进料 阀门 控制 装置 系统 | ||
1.一种单晶炉用进料阀门控制装置,其特征在于,包括第一控制单元、第二控制单元和进料阀门回路,其中:
所述第一控制单元,用于接收外部控制设备的控制信号,根据所述控制信号使第二控制单元执行触发动作;
所述第二控制单元,用于在执行触发动作后进入工作状态,使进料阀门回路中的阀门开启或关闭;所述工作状态包括使阀门开启或使阀门关闭;
在外部控制设备停止向第一控制单元输出控制信号时,所述第二控制单元保持当前的工作状态。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用进料阀门控制装置,其特征在于,所述第一控制单元和所述第二控制单元采用继电器。
3.根据权利要求2所述的单晶炉用进料阀门控制装置,其特征在于,所述第一控制单元包括第一继电器和第二继电器,其中:
所述第一继电器,用于接收外部控制设备的控制信号,根据所述控制信号使第二控制单元执行触发动作后进入工作状态,使进料阀门回路中的阀门开启;
所述第二继电器,用于接收外部控制设备的控制信号,根据所述控制信号使第二控制单元执行触发动作后进入工作状态,使进料阀门回路中的阀门关闭。
4.根据权利要求3所述的单晶炉用进料阀门控制装置,其特征在于,第一继电器的公共端接电源正端,第一继电器的常开触点接第二继电器的公共端,第二继电器的常闭触点接电源负端;
第三继电器的公共端接电源正端,第三继电器的常开触点接第二继电器的公共端;
第三继电器的常开触点接阀门的一端,阀门的另一端接电源负端;
第一继电器的公共端接外部控制设备的第一信号输出端,第一继电器的常开触点接电源负端;
第二继电器的公共接外部控制设备的第一信号输出端,第二继电器的常开触点接电源负端;
其中,第三继电器为第二控制单元。
5.一种单晶炉用进料阀门控制系统,其特征在于,包括外部控制设备和上述权利要求1-4中任一项所述的单晶炉用进料阀门控制装置。
6.根据权利要求5所述的单晶炉用进料阀门控制系统,其特征在于,所述外部控制设备包括PLC控制器或上位机。
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