[实用新型]用于大气机械手的机械手指有效
| 申请号： | 201922066639.0 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN211662068U | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 张伟涛;范泽斌 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J15/06;B25J19/00 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 大气 机械手 机械 手指 | ||
1.一种用于大气机械手的机械手指，其特征在于，包括：
至少一个指叉，所述指叉的末端设有凸台，所述凸台上设有负压气孔和围绕所述负压气孔的吸盘。
2.根据权利要求1所述的用于大气机械手的机械手指，其特征在于，所述指叉内设有与所述负压气孔连通的气体管路，所述负压气孔通过所述气体管路与负压气源连接。
3.根据权利要求1所述的用于大气机械手的机械手指，其特征在于，所述吸盘呈喇叭口状。
4.根据权利要求3所述的用于大气机械手的机械手指，其特征在于，所述吸盘由柔性材料制成。
5.根据权利要求1所述的用于大气机械手的机械手指，其特征在于，所述负压气孔位于所述凸台和所述吸盘的中心位置，所述吸盘的底端与所述凸台的上表面贴合，并可拆卸地与所述凸台连接。
6.根据权利要求1所述的用于大气机械手的机械手指，其特征在于，所述指叉的前端设有安装孔，用于与机械手的多轴传动装置连接。
7.根据权利要求1所述的用于大气机械手的机械手指，其特征在于，所述凸台与所述指叉一体成型。
8.根据权利要求2所述的用于大气机械手的机械手指，其特征在于，所述凸台为圆形台或方形台，所述凸台内设有连通所述负压气孔与所述气体管路的气体通道。
9.根据权利要求8所述的用于大气机械手的机械手指，其特征在于，所述凸台的高度为4～8mm，和/或所述吸盘的长度为10～15mm。
10.根据权利要求1所述的用于大气机械手的机械手指，其特征在于，所述凸台与所述指叉由石英或陶瓷制成。
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