[实用新型]一种改善晶片边缘涂胶均匀性的结构有效
申请号: | 201922072533.1 | 申请日: | 2019-11-27 |
公开(公告)号: | CN211238261U | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 侯想;谢礼增;钟梦洁;刘杨 | 申请(专利权)人: | 福建中晶科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06 |
代理公司: | 天津铂茂专利代理事务所(普通合伙) 12241 | 代理人: | 张天翔 |
地址: | 364000 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改善 晶片 边缘 涂胶 均匀 结构 | ||
【权利要求书】:
1.一种改善晶片边缘涂胶均匀性的结构,包括R型(1)、T型(2)和光刻胶(3),其特征在于:所述R型(1)与T型(2)的边缘均与光刻胶(3)的内边粘接。
2.根据权利要求1所述的一种改善晶片边缘涂胶均匀性的结构,其特征在于:所述R型(1)倒角与T型(2)倒角相结合,做一个圆周及平边为T型(2)倒角、P1点为R型(1)倒角的平片倒角。
3.根据权利要求1所述的一种改善晶片边缘涂胶均匀性的结构,其特征在于:所述R型(1)与T型(2)的横截面长度相同。
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