[实用新型]一种晶圆UV擦除系统

权利要求书

1.一种晶圆UV擦除系统，其特征在于，包括：UV机、控制单元、警报单元和主机；

所述UV机包括测量单元、UV灯组和用于承载晶圆的托盘，所述测量单元用于检测所述UV灯组的UV强度值；

所述控制单元连接于所述UV机，并用于控制所述UV灯组的启动和关闭；

所述主机连接于所述控制单元、警报单元和UV机，并用于在所述测量单元检测到的UV强度值低于预设值时，形成控制指令传输至所述警报单元和控制单元。

2.根据权利要求1所述的晶圆UV擦除系统，其特征在于，所述测量单元包括UV传感器，所述UV传感器和控制单元通信连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆UV擦除系统，其特征在于，所述UV传感器用于感测所述UV灯组的UV强度并形成检测信号，所述控制单元用于将所述检测信号传输至所述主机，所述检测信号经所述主机处理后得到所述UV灯组的UV强度值。

4.根据权利要求3所述的晶圆UV擦除系统，其特征在于，所述UV传感器设于所述托盘上，所述托盘上还设有用于承载晶圆的承盘。

5.根据权利要求1所述的晶圆UV擦除系统，其特征在于，所述晶圆UV擦除系统还包括信息读取单元，所述信息读取单元与所述主机通信连接，并用于读取生产信息。

6.根据权利要求1所述的晶圆UV擦除系统，其特征在于，所述控制单元包括流控单元，所述流控单元包括启动开关、第一微动开关、第二微动开关、电磁继电器、时间继电器和蜂鸣器。

7.根据权利要求6所述的晶圆UV擦除系统，其特征在于，所述电磁继电器包括第一线圈、第一常开触点、第二常开触点和第一常闭触点；所述时间继电器包括第二线圈和第三常开触点。

8.根据权利要求7所述的晶圆UV擦除系统，其特征在于，所述启动开关和第一常开触点并联形成第一并联单元，所述第一线圈和第二线圈并联形成第二并联单元，所述第一并联单元、第一微动开关、第二并联单元串联形成第一电路单元；所述第二微动开关和第一常闭触点串联形成第一串联单元，所述第二常开触点和第三常开触点串联形成第二串联单元，所述第一串联单元和第二串联单元并联形成第三并联单元，所述第三并联单元和蜂鸣器串联形成第二电路单元；所述第一电路单元和第二电路单元并联设置。

9.根据权利要求8所述的晶圆UV擦除系统，其特征在于，所述第一电路单元还包括并联于所述第一线圈的第一指示灯。

10.根据权利要求8所述的晶圆UV擦除系统，其特征在于，所述第二电路单元还包括与所述第三并联单元和蜂鸣器串联设置的自锁开关。