[实用新型]一种飞秒激光振荡器安装结构有效
申请号: | 201922077493.X | 申请日: | 2019-11-27 |
公开(公告)号: | CN210723676U | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 朱永嘉;谢国平;王秋桃;陈年敏 | 申请(专利权)人: | 泰州炬昕微电子有限公司 |
主分类号: | H01S3/04 | 分类号: | H01S3/04;F16F15/02;F16M11/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 225300 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 振荡器 安装 结构 | ||
1.一种飞秒激光振荡器安装结构,包括安装平台(1)、冷却箱(2)、隔振平台(3)和主动隔振器(9),其特征在于:所述安装平台(1)底部内壁四角区域通过螺栓固定连接有主动隔振器(9),所述主动隔振器(9)上表面通过螺栓固定连接有冷却箱(2),所述冷却箱(2)顶部内壁上通过卡接固定连接有循环冷却水管(8),所述冷却箱(2)四周内壁对应循环冷却水管(8)下方通过卡接固定连接有隔板(4),所述冷却箱(2)底部内壁通过焊接对应与隔板(4)底面之间固定连接有蜂巢钢支撑(10),所述冷却箱(2)顶面通过焊接固定连接有隔振平台(3),所述隔振平台(3)上表面上通过螺栓固定连接有防尘隔音板(7),位于一侧的所述防尘隔音板(7)侧面外壁通过合页转动连接有隔音盖板(5),所述隔音盖板(5)上表面远离合页一侧中央通过螺钉固定连接有弹簧提手(6)。
2.根据权利要求1所述的一种飞秒激光振荡器安装结构,其特征在于:所述循环冷却水管(8)伸出冷却箱(2)的两端分别通过管接头固定连接有循环水泵和循环冷却水箱。
3.根据权利要求1所述的一种飞秒激光振荡器安装结构,其特征在于:所述隔音盖板(5)底面与防尘隔音板(7)接触部位通过卡接固定连接有防尘缓冲垫。
4.根据权利要求1所述的一种飞秒激光振荡器安装结构,其特征在于:所述隔振平台(3)为铸铝板,所述冷却箱(2)以及隔板(4)均为不锈钢材质。
5.根据权利要求1所述的一种飞秒激光振荡器安装结构,其特征在于:所述安装平台(1)底部通过螺钉固定连接有调节地脚。
6.根据权利要求1所述的一种飞秒激光振荡器安装结构,其特征在于:所述防尘隔音板(7)侧面对应飞秒激光振荡器连接线处开设有通孔,所述防尘隔音板(7)通孔处通过卡接规定连接有密封垫。
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